株式會社村田制作所 (TOKYO:6981)（以下簡稱“村田”）開發(fā)出了面向工業(yè)設(shè)備的數(shù)字三軸MEMS(1)加速度傳感器“SCA3400系列”（以下簡稱“本產(chǎn)品”）。本產(chǎn)品在長期使用下的傳感器輸出變化值（偏移壽命漂移(2)）低于0.5mg（毫伽），屬于業(yè)內(nèi)居先水平(3)。本產(chǎn)品具備高度耐久性，有助于提升橋梁、建筑等結(jié)構(gòu)物劣化監(jiān)測設(shè)備的可靠性。預(yù)計將于2025年10月開始量產(chǎn)。

(1) MEMS（微型電子機(jī)械系統(tǒng)）：通過對硅片等材料的精細(xì)加工，制造出傳感器結(jié)構(gòu)和電子電路的技術(shù)。
(2) 偏移壽命漂移：指傳感器在使用期間輸出數(shù)值發(fā)生偏移的現(xiàn)象。該數(shù)值越高，偏移越大。
(3) 數(shù)據(jù)來源：村田，截至2025年6月23日。

隨著工業(yè)設(shè)備的數(shù)字化，自動檢測結(jié)構(gòu)物和機(jī)械設(shè)備等異常或損傷、實現(xiàn)預(yù)測性維護(hù)的需求不斷增長。通過傳感器進(jìn)行變化檢測是實現(xiàn)自動化的重要方式之一。尤其在對橋梁、建筑等進(jìn)行結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測時，需要進(jìn)行長期監(jiān)控，因此，能夠準(zhǔn)確捕捉結(jié)構(gòu)物微小形變或變化的加速度傳感器性能，會直接影響整個監(jiān)測系統(tǒng)的可靠性。然而，傳統(tǒng)能夠檢測細(xì)微傾斜的高精度加速度傳感器，其偏移壽命漂移值較高，使用時間一長，基準(zhǔn)位置偏移就會增大，導(dǎo)致難以準(zhǔn)確監(jiān)測結(jié)構(gòu)物的劣化。

對此，村田通過自主研發(fā)的MEMS工藝與新型電路設(shè)計，開發(fā)出了既可檢測微小傾斜、又將偏移壽命漂移值控制在0.5mg以下的本產(chǎn)品。借此，有助于提升結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測等系統(tǒng)的長期高精度測量能力。本產(chǎn)品還具備出眾的抗振動和抗溫度變化能力，即使在惡劣環(huán)境下的工業(yè)設(shè)備中，也可實現(xiàn)長期穩(wěn)定使用。

今后，村田將繼續(xù)致力于高精度加速度傳感器的研發(fā)，滿足多樣化的市場需求。

主要特點

偏移壽命漂移值業(yè)內(nèi)居先，低于0.5mg。

低噪聲，能夠準(zhǔn)確檢測微小動作。

具備良好的抗振動和抗溫度變化能力，可在惡劣環(huán)境下穩(wěn)定運行。

配備可實時監(jiān)控傳感器狀態(tài)的自診斷功能。

與村田以往產(chǎn)品采用相同尺寸和輸出方式，便于客戶減少額外設(shè)計工時。

主要參數(shù)

審核編輯 黃宇