背景：在2002年在北京建立首條生產(chǎn)線后，中芯國(guó)際就踏上了一條爭(zhēng)分奪秒、無(wú)從喘息的賽道。

以中芯國(guó)際為代表，我國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)高端裝備和材料正經(jīng)歷從無(wú)到有填補(bǔ)產(chǎn)業(yè)鏈空白的躍升，制造工藝與封裝集成由弱漸強(qiáng)走向世界參與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)。在“刀頭舔血”的艱難追擊中，我國(guó)集成電路制造水平與國(guó)際先進(jìn)水平的差距已從2000年時(shí)相差4、5代縮短至相差1到2代。

刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)、化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)、快速熱退火設(shè)備……在這些芯片生產(chǎn)線的關(guān)鍵位置，國(guó)產(chǎn)設(shè)備占據(jù)的席位終于從1%提升到了15%——這是過(guò)去七年間，中芯國(guó)際國(guó)產(chǎn)化設(shè)備交出的成績(jī)單。

當(dāng)中芯北京總經(jīng)理張昕拿到這份經(jīng)過(guò)嚴(yán)謹(jǐn)統(tǒng)計(jì)計(jì)算的數(shù)據(jù)后，他輕吁了一口氣，“苦心經(jīng)營(yíng)這么些年，總算開(kāi)花結(jié)果了。”

在中芯國(guó)際工作多年的老人兒都清晰記得，十多年前中芯國(guó)際在京投產(chǎn)時(shí)，大到生產(chǎn)線設(shè)備，小到螺母、螺絲釘，都是進(jìn)口的。當(dāng)時(shí)，集成電路生產(chǎn)線上刻蝕機(jī)、氧化機(jī)、薄膜、光刻、離子注入等關(guān)鍵設(shè)備，一直都由歐美日少數(shù)公司掌握。

投資一條芯片生產(chǎn)線，動(dòng)輒要投資幾十億美元，除了廠房、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)，購(gòu)買先進(jìn)設(shè)備是產(chǎn)線投入中的大頭。可是，國(guó)內(nèi)廠商不掌握先進(jìn)生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)也就意味著，“投資10塊錢，9.8塊錢都花在了國(guó)外。”

除了“別人吃肉自己喝湯”，芯片生產(chǎn)核心設(shè)備受制于人更為嚴(yán)重的后果是，整個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展進(jìn)程都要受壟斷技術(shù)、設(shè)備的發(fā)達(dá)國(guó)家牽制。

“想買設(shè)備，一等等上一年半載、甚至兩年，拿錢也得等著，人家得先給美國(guó)、日韓那些巨頭供貨。”北方華創(chuàng)副董事長(zhǎng)耿錦啟說(shuō)。對(duì)于技術(shù)迅速更新的芯片產(chǎn)業(yè)來(lái)說(shuō)，多等兩年，就意味著芯片產(chǎn)品的技術(shù)要慢至少一代。

重壓之下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備的攻堅(jiān)進(jìn)展卻十分緩慢。“剛接到攻克刻蝕機(jī)國(guó)產(chǎn)化任務(wù)那會(huì)，我連刻蝕機(jī)長(zhǎng)什么樣都沒(méi)見(jiàn)過(guò)。”耿錦啟回憶。

國(guó)產(chǎn)設(shè)備進(jìn)芯片生產(chǎn)線，為何這么難？

有同行拿芯片制造裝備中的刻蝕機(jī)打了個(gè)比方：人們?cè)诿琢Ｉ峡套郑芸?00個(gè)已是極限，而等離子刻蝕機(jī)的加工工藝，相當(dāng)于要在米粒上刻10億個(gè)字。而另一款更難做的光刻機(jī)，全球90%以上這種設(shè)備都由一家荷蘭公司壟斷。光刻機(jī)對(duì)精密化等技術(shù)的嚴(yán)苛要求，從一個(gè)側(cè)面細(xì)節(jié)就能了解：該公司所有的光刻機(jī)在交付給客戶時(shí)，都由公司機(jī)組人員護(hù)送空運(yùn)上門，并手把手完成安裝調(diào)試，中途稍有不慎，就有可能影響設(shè)備使用。

2008年，國(guó)家科技重大專項(xiàng)02專項(xiàng)成立，組織“產(chǎn)學(xué)研”聯(lián)合開(kāi)發(fā)，由行業(yè)龍頭企業(yè)中芯國(guó)際等牽頭，向世界先進(jìn)的28納米等芯片技術(shù)節(jié)點(diǎn)攻關(guān)，并推動(dòng)裝備國(guó)產(chǎn)化。北京市作為組織牽頭單位，對(duì)項(xiàng)目承擔(dān)單位予以資金扶持。中芯國(guó)際、北方微電子、七星華創(chuàng)（北方微電子、七星華創(chuàng)后重組為“北方華創(chuàng)”）、中科信公司等產(chǎn)業(yè)鏈的上下游企業(yè)站在了一起，開(kāi)始了聯(lián)盟式的集體攻關(guān)。

“有一千個(gè)理由做國(guó)產(chǎn)化，也有一千個(gè)理由不做國(guó)產(chǎn)化。”對(duì)張昕來(lái)說(shuō)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程，難度遠(yuǎn)非“啃硬骨頭”所能形容，簡(jiǎn)直是“刀口舔血”，必須冒著良品率上不來(lái)的巨大經(jīng)營(yíng)風(fēng)險(xiǎn)展開(kāi)工藝磨合和改進(jìn)。

今年，中芯北京二期的另一塊新廠房還將有大批設(shè)備進(jìn)廠，并在明年逐漸實(shí)現(xiàn)滿產(chǎn)。滿產(chǎn)后，中芯位于北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)的全部生產(chǎn)線將具備12萬(wàn)片產(chǎn)能，成為整個(gè)中國(guó)大陸12英寸晶圓生產(chǎn)水平最高、技術(shù)最先進(jìn)、規(guī)模最大的芯片生產(chǎn)基地。

另?yè)?jù)了解，中芯國(guó)際14納米芯片計(jì)劃2019年上半年將在上海投產(chǎn)。14納米，正是目前全球領(lǐng)軍企業(yè)如今已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)。

“我們和國(guó)外最先進(jìn)水平的差距是一到兩代技術(shù)節(jié)點(diǎn)。”北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)投促局副局長(zhǎng)李冬明說(shuō)。“力爭(zhēng)用10年時(shí)間進(jìn)入全球第一梯隊(duì)”——在近日舉行的一場(chǎng)內(nèi)部會(huì)議上，中芯國(guó)際董事長(zhǎng)周子學(xué)也披露了中芯未來(lái)發(fā)展的“小目標(biāo)”。