4月22日下午，南昌市人民政府與中微半導體設備（上海）有限公司簽訂戰略合作框架協議，攜手共同發展。

中微半導體設備公司已落戶高新區 一期5月上旬實現全面投產

據介紹，中微半導體設備（上海）有限公司（以下簡稱“中微半導體設備公司”）成立于2004年，是國內技術最領先的高端芯片設備企業，也是國家集成電路產業投資基金首個投資企業。該公司所專長的納米級刻蝕技術和薄膜技術是眾多微觀加工的核心，其設備都是制備半導體芯片、LED芯片生產過程中最為關鍵的設備。

據了解，中微半導體設備公司已落戶南昌高新區，一期租賃9000平方米廠房進行過渡生產，現已實現部分投產，預計5月上旬可實現全面投產，項目二期將在2019年啟動建設。截至今年3月底，該公司已獲得MOCVD設備訂單約200腔體。

是什么讓中微半導體設備公司看好南昌？中微半導體設備（上海）有限公司董事長尹志堯表示，南昌投資環境十分優越，地方政府對企業的支持力度大、服務好。“南昌高新區跟我們發展理念上高度匹配，而且我們的主要客戶都紛紛在南昌落戶。”尹志堯說。

高新區打造半導體高端裝備制造業產業集群

簽約儀式上，中微半導體設備公司還與兆馳半導體、乾照光電、聚燦光電、德豪潤達、士蘭明芯等企業簽訂了批量MOCVD設備銷售合同。“我們與中微半導體設備公司簽訂了100腔體MOCVD設備訂單，以前公司的設備都是從美國采購，如今該公司厚積薄發，技術已超越國外。”深圳兆馳股份有限公司董事長顧偉表示，目前，深圳兆馳股份有限公司在南昌高新區的LED芯片封裝產業基地已封頂，預計今年年底投產，投產后每年可新增產值100億元。

尹志堯表示，中微半導體設備公司將充分發揮自身管理、技術、人才等優勢，以及納米級刻蝕設備和技術、MOCVD等薄膜設備和技術領域的行業領先地位，在南昌高新區建設高端MOCVD裝備制造基地。“我們將在南昌大規模制造具有自主知識產權的MOCVD設備，并不斷擴大生產規模，同時，我們還將與南昌大學國家硅基LED工程技術研究中心合作，加快推進硅襯底LED原創技術產業化。”尹志堯說。

記者了解到，中微半導體設備公司將推進在南昌開展MOCVD相關的基礎科學研究，包括深紫、功率器件及Micro LED等第三代半導體的應用產品開發，積極促進半導體上下游供應鏈企業落戶南昌高新區，吸引國際一流的設備和材料廠商落戶南昌高新區，形成半導體高端設備制造的產業集群。

高端裝備與核心裝置是“大國重器”，是我國成為制造強國的基礎，也是江西建立現代化經濟體系，實現“工業強省”的主攻方向。南昌高新區相關負責人表示，中微半導體設備公司高端裝備MOCVD生產項目的落戶，為江西LED產業的核心競爭力注入了新的血液，進一步發展壯大了高新區LED產業鏈，極大地提升了電子信息裝備產業發展水平，助推“南昌光谷”成為中國規模最大、技術水平最高、產業鏈最完整的LED生產基地。（全媒體記者 劉文君 鄧微/文 成奔/圖）