近期，金融界消息稱，深圳市瑞之辰科技有限公司申請一項名為“基于MEMS金屬封裝的差壓傳感器”的專利，據悉該差壓傳感器能對兩側面的壓力同時進行感應并準確獲取差壓。

專利摘要顯示，本發明公開了一種基于MEMS金屬封裝的差壓傳感器，該差壓傳感器包括第一感應膜片、第二感應膜片及基板；基板夾設于第一感應膜片與第二感應膜片之間；基板上設有對第一凹腔與第二凹腔進行連通的導通孔；傳感芯片設置于基板的一側并對導通孔的一端進行蓋合，傳感芯片與基板組合并對內部空間進行分隔，形成第一充油腔體及第二充油腔體；第一充油腔體及第二充油腔體內均注入油；基板設置傳感芯片的一側面還設置有電路芯片；電路芯片與傳感芯片及基板表層設置的信號傳輸引腳之間均通過金屬引線進行電連接。上述差壓傳感器，通過兩個感應膜片分別感應兩側的壓力并傳導至傳感芯片進行差壓感應，能對兩側面的壓力同時進行感應并準確獲取差壓。

深圳市瑞之辰科技有限公司成立于2007年，是一家芯片設計、方案研發的高科技公司，主要產品有SiC功率器件、傳感器芯片、電源管理芯片等。公司擁有自己的知識產權，擁有數十項發明專利和實用新型專利。近年來該公司研發了SiC、IGBT等功率器件，封裝形式有TO247-3、TO247-4PHC、IPM24A-D、WPM11C等外形。傳感器系列產品針對客戶行業工況精心設計，采用先進工藝滿足客戶實際需求。基于MEMS（微機電系統）技術的傳感器在出廠前都進行了嚴格的零點和寬溫度范圍補償；變送器內置高性能電路，廣泛應用于石油、城市煤氣、水利、消防、船舶、家用家電、消費電子等領域。