什么是曝光機

曝光機即電子束曝光機是集電子光學、電氣、機械、真空、計算機技術等于一體的復雜的半導體加工設備。曝光機是20 世紀 60 年代初從掃描電子顯微鏡基礎上發展起來， 70 年代以后廣泛應用于半導體集成電路制造業。

曝光機的基本原理

在計算機的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物（通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠）進行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學性質發生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區域，從而在抗蝕劑上形成精細圖形。

曝光機的配件清單

曝光機的用途

更廣范圍（UV，DUV，NUV）的紫外光波長選擇，出射光強范圍： 8mW/cm2~40mW/cm2

支持恒定光強或恒定功率模式

廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領。

常見曝光機舉例：MYCRO美國制造的恩科優（N&Q）紫外曝光系統，適用于從特殊大小的基片到4尺寸很寬廣范圍材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6系統成功地應用于半導體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學，微機電系統，凹凸或復晶設備和其他要求精細印制和精度對準的應用。

曝光機多少錢一臺

曝光機有自動和半自動之分，價格也各不一樣，以下是小編在阿里巴巴找到的關于曝光機的價格，僅供參考。