東土科技持續(xù)加快自主研發(fā)和創(chuàng)新的步伐，不斷提升解決方案完整性和自主可控能力，在剛剛過去的2024年，東土科技智能控制器產(chǎn)品和方案在半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵設(shè)備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了批量應(yīng)用。憑借在半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵設(shè)備的應(yīng)用方案，東土科技榮獲CMCD年度運動控制領(lǐng)域行業(yè)應(yīng)用獎。

這是行業(yè)對東土創(chuàng)新能力、技術(shù)實力和市場表現(xiàn)的權(quán)威認(rèn)可，也見證了我們對卓越品質(zhì)的不懈追求和對客戶需求的深刻理解，該方案之所以在高技術(shù)要求的半導(dǎo)體行業(yè)獲得認(rèn)可，主要是因為如下特性：

靈活高效的基礎(chǔ)架構(gòu)

東土科技的NewPre智能控制器產(chǎn)品為PC架構(gòu)，其運算快、存儲空間大、靈活部署的特點，能為多種運算平臺、AI技術(shù)應(yīng)用（策略優(yōu)化、預(yù)測性維護(hù)）、數(shù)字孿生仿真技術(shù)應(yīng)用提供基礎(chǔ)條件，這樣的架構(gòu)也為工業(yè)智能化和自動化水平的提升提供了有力支持。

該架構(gòu)得益于Intewell(鴻道)操作系統(tǒng)的底層支撐，Intewell基于微內(nèi)核架構(gòu)設(shè)計，實時響應(yīng)性能達(dá)到微秒級，半導(dǎo)體關(guān)鍵制程設(shè)備對生產(chǎn)質(zhì)量要求極高，任何缺陷都可能導(dǎo)致產(chǎn)品失效，Intewell這種虛擬化、高實時，確定性、高可靠的特點，非常適合處理晶圓加工控制過程。

實時+非實時底層構(gòu)型，并兼具控制功能

實時+非實時底層構(gòu)型兼容MaVIEW控制軟件，可以實現(xiàn)控制程序的多任務(wù)、多語言編譯和運行，精密控制設(shè)備運行，例如，在薄膜沉積領(lǐng)域，實時系統(tǒng)中運行的控制程序需要進(jìn)行溫度和壓力的精確控制，防止前驅(qū)體低溫未完全活化、冷凝和高溫分解，還需控制沉積速率確保充分覆蓋和填充，控制系統(tǒng)需要進(jìn)行多任務(wù)同步才能保證精確執(zhí)行工藝步驟。

功能和數(shù)據(jù)接口的定制化

NewPre系列智能控制器支持廠家自定義數(shù)據(jù)API與實時系統(tǒng)的無縫銜接，為廠家提供共享內(nèi)存通道，實現(xiàn)1ms級別周期交互，軟件系統(tǒng)內(nèi)部功能組件和數(shù)據(jù)接口可以自由定義和組合，使半導(dǎo)體設(shè)備腔室的過程數(shù)據(jù)經(jīng)過實時與非實時之間的數(shù)據(jù)接口進(jìn)行傳輸，這為半導(dǎo)體設(shè)備廠商從控制角度做工藝優(yōu)化和技術(shù)革新提供了條件，使系統(tǒng)更加實時、交互更加方便、運行更加流暢，從而大幅提升設(shè)備穩(wěn)定性和可靠性。

便捷的通訊接口

除了常規(guī)配置的以太網(wǎng)、USB等PC常見接口外，還可以進(jìn)行虛擬化配置和軟協(xié)議棧加載，使多設(shè)備交互更靈活，熱連接功能可靈活快速切換EtherCAT在線從站，特別適應(yīng)半導(dǎo)體設(shè)備，另外，半導(dǎo)體設(shè)備通常布設(shè)若干串口設(shè)備，以往用一臺串口服務(wù)器匯總后再上傳到上位機(jī)，這種方式非常浪費空間，集成度低，故障風(fēng)險大，控制器多串口配置可以實現(xiàn)多路串口從站直接與控制器對接，提高集成度，減少延時，節(jié)約空間，降低故障風(fēng)險，更加穩(wěn)定可靠。

智能控制器還支持自主技術(shù)的AUTBUS總線，AUTBUS由東土科技主導(dǎo)推出，已建立國際標(biāo)準(zhǔn)和國家標(biāo)準(zhǔn)，可以解決復(fù)雜系統(tǒng)IPV6 統(tǒng)一尋址問題和確定性通信問題，實現(xiàn)了控制協(xié)議和工業(yè)控制協(xié)議全I(xiàn)P化，支撐半導(dǎo)體行業(yè)工業(yè)控制通信的多設(shè)備互聯(lián)互通。

散熱極致優(yōu)化，體積縮小到傳統(tǒng)設(shè)備的一半

半導(dǎo)體生產(chǎn)對潔凈車間要求高，自動化組件的空間占用要毫厘必爭，在以往的控制系統(tǒng)，主要控制核心為多臺工控機(jī)和嵌入式PLC，空間占用大，智能控制器將工控機(jī)的功能和高性能PLC的功能集成，經(jīng)過精細(xì)設(shè)計的散熱方案，使控制器體積占用僅為原來的一半，提高了潔凈空間利用率。

自主可控

當(dāng)前，核心控制軟件在提升半導(dǎo)體生產(chǎn)制造效率、提高產(chǎn)品質(zhì)量效能等方面的重要作用愈發(fā)突出，智能控制器內(nèi)嵌的Intewell操作系統(tǒng)和MaVIEW控制工具軟件為東土全自主研發(fā)，Intewell已通過了多個權(quán)威機(jī)構(gòu)的第三方測評，內(nèi)核及主要功能模塊自主率達(dá)到100%，MaVIEW軟件使用自主開發(fā)的編譯器、運行態(tài)控制軟件，能夠完美協(xié)同半導(dǎo)體設(shè)備的控制系統(tǒng)開發(fā)過程，目前已實際應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓廠，從而為行業(yè)設(shè)備注入更多自主核心技術(shù)。

從2013年開始，公司就提出了“軟件定義未來、承載人工智能”的發(fā)展戰(zhàn)略，在當(dāng)前國家新型工業(yè)化發(fā)展戰(zhàn)略的大背景下，東土科技承擔(dān)著國家“新型工業(yè)操作系統(tǒng)”的開發(fā)重任， 目前已實現(xiàn)了AI大模型與工業(yè)機(jī)器人、大模型與自動化機(jī)臺的融合系統(tǒng)構(gòu)建，成功將AI技術(shù)應(yīng)用到運動控制任務(wù)中，為客戶創(chuàng)造更多價值。展望未來，東土科技作為“中國PC控制引領(lǐng)者”將堅持走“國產(chǎn)自主可控”的發(fā)展道路，與眾多伙伴攜手，用技術(shù)創(chuàng)新為國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備注入“自主魂”。

審核編輯 黃宇