據傳感器專家網獲悉，據日本日刊工業新聞11月25日報道，日本住友精密工業將正式進入微小電氣機械系統（MEMS）的代工（Foundry）業務領域。

據新聞介紹，住友精密工業接收了此前與美國企業共同運營的合資公司相關業務。通過整合MEMS設備及制造技術的專業知識，以及母公司住友商事的銷售網絡等資源，公司計劃切入預計增長迅速的MEMS市場，目標瞄準汽車高性能傳感器（LiDAR）及高性能揚聲器等領域，到2030年實現超過100億日元的營業收入。

早在1999年，住友精密工業通過與美國科林斯航空系統公司（Collins Aerospace）的合資企業“英國硅感系統公司”（Silicon Sensing Systems），從事陀螺儀和加速度傳感器等MEMS設備的生產與銷售，同時也涉足MEMS代工業務。

Silicon Sensing Systems Ltd 是位于英國英格蘭西南部普利茅斯，Collins Aerospace 在陀螺儀和慣性傳感器方面的傳統可以追溯到 Sperry Gyroscope Company，該公司成立于 1913 年，這使得企業在復雜慣性系統及其在實際應用中的部署領域擁有深厚的專業知識。住友精密工業總部位于日本尼崎，在硅 MEMS 制造領域擁有獨特的專業知識。經過 20 年的成功合作，Silicon Sensing Systems 已成為全球市場上備受推崇的可靠優質產品供應商。

此次，公司將代工業務獨立出來，并移交至住友精密工業。

2023年12月，公司成立了“MEMS Infinity部門”，專注于承接新業務，而合資公司時期的訂單則將繼續由該部門承接。

MEMS Infinity是一家150毫米和200毫米MEMS晶圓代工廠，通過原型設計和大規模生產，滿足客戶對MEMS概念設計和評估的不斷增長的需求。

MEMS Infinity位于日本尼崎市（Amagasaki）的工業和技術中心，擁有一個20,000平方英尺的潔凈室，可以制造多種MEMS器件，包括靜電式和電磁式傳感器和執行器。MEMS Infinity也是該行業為數不多的提供PZT薄膜組合的MEMS代工廠之一。PZT薄膜是一種可將電能轉換為機械能的壓電材料，反之亦然。PZT薄膜非常適合用于高性能執行器、微機械超聲換能器（MUT）和聲學傳感器等新興技術。

epi-PZT晶圓 為擴大MEMS代工業務，公司將充分利用在MEMS設備設計、生產技術開發、制造和市場營銷等方面的經驗優勢。住友精密工業的全資子公司SPP Technologies（總部位于東京都千代田區）專注于MEMS制造設備如硅深刻蝕裝置的開發，這使公司在設備利用方面具有明顯優勢。

量產的MEMS設備將委托英國硅感系統公司生產，同時住友精密工業計劃逐步提升自身的生產能力。到2030年，公司預計投入數十億日元，將產能擴充至現有水平的數倍，同時將員工人數從現有的約20人增加到100人以上。

公司高管表示，“同時擁有MEMS設備和設備制造技術的代工廠在行業中非常少見。”MEMS設備由于其小型化、高功能化及節能特性，市場需求預計將持續增長。

來源：上海交通大學電子信息與電氣工程學院