據(jù)傳感器專家網(wǎng)獲悉，據(jù)日本日刊工業(yè)新聞11月25日?qǐng)?bào)道，日本住友精密工業(yè)將正式進(jìn)入微小電氣機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）的代工（Foundry）業(yè)務(wù)領(lǐng)域。

據(jù)新聞介紹，住友精密工業(yè)接收了此前與美國企業(yè)共同運(yùn)營的合資公司相關(guān)業(yè)務(wù)。通過整合MEMS設(shè)備及制造技術(shù)的專業(yè)知識(shí)，以及母公司住友商事的銷售網(wǎng)絡(luò)等資源，公司計(jì)劃切入預(yù)計(jì)增長迅速的MEMS市場，目標(biāo)瞄準(zhǔn)汽車高性能傳感器（LiDAR）及高性能揚(yáng)聲器等領(lǐng)域，到2030年實(shí)現(xiàn)超過100億日元的營業(yè)收入。

早在1999年，住友精密工業(yè)通過與美國科林斯航空系統(tǒng)公司（Collins Aerospace）的合資企業(yè)“英國硅感系統(tǒng)公司”（Silicon Sensing Systems），從事陀螺儀和加速度傳感器等MEMS設(shè)備的生產(chǎn)與銷售，同時(shí)也涉足MEMS代工業(yè)務(wù)。

Silicon Sensing Systems Ltd 是位于英國英格蘭西南部普利茅斯，Collins Aerospace 在陀螺儀和慣性傳感器方面的傳統(tǒng)可以追溯到 Sperry Gyroscope Company，該公司成立于 1913 年，這使得企業(yè)在復(fù)雜慣性系統(tǒng)及其在實(shí)際應(yīng)用中的部署領(lǐng)域擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。住友精密工業(yè)總部位于日本尼崎，在硅 MEMS 制造領(lǐng)域擁有獨(dú)特的專業(yè)知識(shí)。經(jīng)過 20 年的成功合作，Silicon Sensing Systems 已成為全球市場上備受推崇的可靠優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品供應(yīng)商。

此次，公司將代工業(yè)務(wù)獨(dú)立出來，并移交至住友精密工業(yè)。

2023年12月，公司成立了“MEMS Infinity部門”，專注于承接新業(yè)務(wù)，而合資公司時(shí)期的訂單則將繼續(xù)由該部門承接。

MEMS Infinity是一家150毫米和200毫米MEMS晶圓代工廠，通過原型設(shè)計(jì)和大規(guī)模生產(chǎn)，滿足客戶對(duì)MEMS概念設(shè)計(jì)和評(píng)估的不斷增長的需求。

MEMS Infinity位于日本尼崎市（Amagasaki）的工業(yè)和技術(shù)中心，擁有一個(gè)20,000平方英尺的潔凈室，可以制造多種MEMS器件，包括靜電式和電磁式傳感器和執(zhí)行器。MEMS Infinity也是該行業(yè)為數(shù)不多的提供PZT薄膜組合的MEMS代工廠之一。PZT薄膜是一種可將電能轉(zhuǎn)換為機(jī)械能的壓電材料，反之亦然。PZT薄膜非常適合用于高性能執(zhí)行器、微機(jī)械超聲換能器（MUT）和聲學(xué)傳感器等新興技術(shù)。

epi-PZT晶圓 為擴(kuò)大MEMS代工業(yè)務(wù)，公司將充分利用在MEMS設(shè)備設(shè)計(jì)、生產(chǎn)技術(shù)開發(fā)、制造和市場營銷等方面的經(jīng)驗(yàn)優(yōu)勢(shì)。住友精密工業(yè)的全資子公司SPP Technologies（總部位于東京都千代田區(qū)）專注于MEMS制造設(shè)備如硅深刻蝕裝置的開發(fā)，這使公司在設(shè)備利用方面具有明顯優(yōu)勢(shì)。

量產(chǎn)的MEMS設(shè)備將委托英國硅感系統(tǒng)公司生產(chǎn)，同時(shí)住友精密工業(yè)計(jì)劃逐步提升自身的生產(chǎn)能力。到2030年，公司預(yù)計(jì)投入數(shù)十億日元，將產(chǎn)能擴(kuò)充至現(xiàn)有水平的數(shù)倍，同時(shí)將員工人數(shù)從現(xiàn)有的約20人增加到100人以上。

公司高管表示，“同時(shí)擁有MEMS設(shè)備和設(shè)備制造技術(shù)的代工廠在行業(yè)中非常少見。”MEMS設(shè)備由于其小型化、高功能化及節(jié)能特性，市場需求預(yù)計(jì)將持續(xù)增長。

來源：上海交通大學(xué)電子信息與電氣工程學(xué)院