實驗名稱：PFSM反作用力補償消除的實驗研究

實驗目的：主要介紹了所研制配備反作用力補償系統的320mm口徑PFSM，通過搭建PFSM性能參數和補償前后反作用力測試實驗平臺，在PFSM反作力動態耦合特性和補償消除研究的基礎上開展了相關實驗研究。PFSM性能參數實驗結果表明，所設計配備反作用力補償系統的320mm口徑PFSM滿足設計指標要求。

測試設備：高壓放大器、位置傳感放大器、示波器、電子自準直儀和控制系統等組成。

實驗過程：

搭建的PFSM反作用力測試實驗平臺，反作用力補償系統對PFSM反作用力消除效果的測試原理如下圖1所示。

圖1：320mmPFSM反作用力補償消除測試原理示意圖

在驅動電壓幅值為500V，驅動頻率分別為50Hz、80Hz、100Hz和120Hz的工況下，補償后殘余反作用力的幅值分別為3.69N、5.14N、8.04N和11.13N，反作用力消除比例分別為82%、90.45%、89.78%和90.14%，補償消除前后測試所得反作用力數據的對比如圖5.17所示。圖2（a）~圖2（d）依次表示50Hz、80Hz、100Hz和120Hz驅動頻率工況下的補償前后測試反作用力對比，圖例InitialReactionforce代表補償前的反作用力數據，圖例Reactionforceaftercompensation代表補償消除后的反作用力數據值。

圖2：不同驅動頻率工況下補償前后反作用力測試結果對比

實驗結果：

圖3：補償前后反作用力測試結果的局部放大顯示對比

在80Hz和100Hz驅動頻率工況下，反作用力局部放大對比顯示如圖3所示。實驗測試與基于壓電耦合理論FE計算所得反作用力補償消除比例的差值分別為17%（@50Hz）、4.95%（@80Hz）、4.825（@100Hz）和3.96%（@120Hz）。在低頻驅動工況下，實驗測試和FE計算反作用力補償效果存在較大差異，主要原因為補償后殘余反作用力幅值較小，與反作用力測量系統中動態力傳感器背景噪聲反作用力存在較大的耦合干擾。隨著驅動頻率的提高，測試所得殘余反作用力幅值增大，動力傳感器背景噪聲對反作用力的耦合干擾影響降低，實驗測試與FE計算的反作用力補償消除比率基本相同。高頻驅動工況下實驗測試和FE計算存在的微小差異，主要由反射鏡裝置和反作用力補償系統中心柔性鉸鏈的加工精度誤差、驅動器制作差異和裝配誤差等引起。

反作用力補償實驗測試結果表明，反作用力補償系統可有效消除PFSM反作用力。因此，所設計的大口徑PFSM反作用力補償結構是有效的，所建立的反作用力補償動態平衡條件是正確的。

電壓放大器推薦：ATA-2161

圖：ATA-2161高壓放大器指標參數

本資料由Aigtek安泰電子整理發布，更多案例及產品詳情請持續關注我們。西安安泰電子Aigtek已經成為在業界擁有廣泛產品線，且具有相當規模的儀器設備供應商，樣機都支持免費試用。高壓放大器https://www.aigtek.com/products/bk-gyfdq.html

審核編輯 黃宇