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純度達到99.999999999%,江蘇鑫華半導體成功量產電子級多晶硅

半導體動態 ? 來源:網絡整理 ? 作者:工程師吳畏 ? 2018-06-08 09:45 ? 次閱讀
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中國正在半導體行業奮起直追,但整體差距依然非常大,比如用來制造芯片的硅晶圓,就掌握在日本、德國、韓國等的極少數企業手中。

不過我們也在一個個地突破!據報道,江蘇鑫華半導體材料科技有限公司已經成功量產純度要求達到99.999999999%的電子級多晶硅,在在經過一系列嚴格驗證、檢測之后,不但供應給國內市場,還出口到了韓國。

這標志著,我國半導體集成電路用硅料已經達到國際一流質量標準,這也是我國多晶硅制造企業首次向國際市場出口集成電路用高純度硅料。過去中國基本完全依賴進口。

電子級多晶硅材料是集成電路的關鍵基礎材料,也是純度最高的多晶硅材料。太陽能級多晶硅的純度要求只有99.9999%,電子級則多了五個9。

更形象地說,5000噸電子級多晶硅里的雜質含量,只有大約6克,相當于一枚1元硬幣的重量。

2015年12月,鑫華半導體由國家集成電路產業投資基金聯手保利協鑫共同投資38億元,建設國內首條5000噸半導體集成電路專用電子級多晶硅生產線,2017年11月8日正式發布電子級多晶硅產品。

目前,該電子級多晶硅已通過客戶驗證,并形成規模化銷售,打破長期以來國外高純度材料壟斷,填補該產業國內技術空白。

鑫華半導體的電子級多晶硅產能可保證國內企業3-5年內不缺貨,產品質量滿足40nm工藝及以下極大規模集成電路用300mm尺寸單晶制造需求,同時還將規劃再上一條5000噸生產線,更好地滿足國際國內市場。

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