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廣明源172nm高能光清洗機產(chǎn)品概述

廣明源 ? 來源:廣明源 ? 2024-09-03 16:45 ? 次閱讀
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隨著科技飛速發(fā)展,半導體行業(yè)在現(xiàn)代工業(yè)中扮演著關(guān)鍵角色,涵蓋從計算機、智能手機到各種家用電器。然而,半導體制造過程復雜且嚴格,任何微小污染或缺陷都會嚴重影響產(chǎn)品的良率和性能。因此,高效、無損的清洗技術(shù)在半導體生產(chǎn)中尤為重要。廣明源推出了創(chuàng)新的172nm高能光清洗機,為半導體行業(yè)提供一種革新的清洗方案。

01172nm高能光清洗機

廣明源172nm高能光清洗機利用高能量的172nm紫外光子,能夠切斷有機物分子的化學鍵,使其分解成更小的分子自由基。同時,空氣中的氧氣吸收這些光子后生成活性氧和臭氧,臭氧進一步分解產(chǎn)生更多活性氧。特定合適的照度可以對基材表面完成納米級別改性。這種清洗方式不僅高效去除表面有機污染物,還不會對基材表面造成損傷,實現(xiàn)無損清洗。

02產(chǎn)品特點

高能光清洗: 利用172nm 光源,高效分解基材上的灰塵、脂肪和油污等有機物,實現(xiàn)高精度清洗,提升產(chǎn)品合格率。

環(huán)保節(jié)能: 無需使用有害化學物質(zhì)和耗材,實現(xiàn)環(huán)保清洗,降低能耗。

技術(shù)優(yōu)勢: 采用準分子技術(shù),高能低穿透,避免靜電干擾,確保無接觸操作,不損傷基材,不改變機械性能。

效率提升: 快速照射基材,縮短清洗周期,提高生產(chǎn)效率。

自動化控制: 自動化控制系統(tǒng)確保清洗過程的精確性和可重復性,簡化操作流程。

均勻輻射: 在整個輻射區(qū)域內(nèi)提供優(yōu)良的均勻性,恒定強度輸出,確保清洗過程持續(xù)穩(wěn)定。

專業(yè)定制: 可根據(jù)客戶需求定制不同面積的照射平臺和不同強度、功率的設(shè)備,以適應各種不同基材和應用場景的需求。

03應用前景

1醫(yī)療器械制造

高效清洗微小部件,確保無菌操作;能夠優(yōu)化人體植入物表面,減少人體的排異反應,進一步提高醫(yī)療器械的安全性和有效性。

2材料科學研究

清洗樣品表面或促進材料氧化還原反應,保證實驗結(jié)果的準確性,促進新材料的開發(fā)。

3TOC降解

通過光照高能或光照產(chǎn)生的羥基離子(OHˉ),對純水中的TOC進行降解,使其降低到ppb級別。

4電子行業(yè)

去除印刷電路板和微電子元件中的有機污染物,確保電子設(shè)備的穩(wěn)定性能。

5光學儀器生產(chǎn)

去除極細微的雜質(zhì),提高鏡片和傳感器的精度。

6航空航天領(lǐng)域

清洗精密零部件,提高各部件結(jié)合精密性,保證飛行器的安全和性能。

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原文標題:172nm高能光清洗機:高效表面處理的創(chuàng)新之選

文章出處:【微信號:gmyokwx,微信公眾號:廣明源】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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    在半導體制造中,清洗工藝貫穿于光刻、刻蝕、沉積等關(guān)鍵流程,并在單晶硅片制備階段發(fā)揮著重要作用。隨著技術(shù)的發(fā)展,芯片制程已推進至28nm、14nm乃至更先進節(jié)點。
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