7月11日，凝聚“芯”動能，共筑“芯”高地——廣東中科半導體微納制造技術研究院（以下簡稱“廣東微納院”）半導體微納加工中試平臺通線暨項目簽約儀式在佛山南海舉行。會上，廣東微納院半導體微納加工中試平臺通線，二期產業孵化區正式封頂，一批半導體項目現場簽約，為灣區半導體產業發展注入“芯”動能。

中國科學院蘇州納米所黨委書記鄧強，廣東省科技廳二級巡視員夏奇峰，佛山市副市長陳新文，南海區委副書記、區長王勇，佛山高新區黨工委副書記、管委會主任胡學駿及市區相關部門，合作高校、院所、企業代表超180人參會。

中試平臺通線，一批項目簽約

為灣區半導體產業發展注入“芯”動能

廣東微納院是由佛山市、南海區兩級政府共同建設，中國科學院蘇州納米所支持的廣東省省屬事業單位，建設半導體材料外延生長、芯片加工、封裝測試等全鏈條中試平臺，為佛山市半導體產業強鏈延鏈、大灣區“芯”動能高質量發展提供技術平臺支撐。

據介紹，平臺具備8吋硅晶圓和氮化鎵晶圓加工能力，2-8吋氮化鎵基材料外延生長能力，其中晶圓加工產能為8吋5000片/月，材料外延生長總產能為4吋4000片/月。活動當天，廣東微納院與蘇州敏芯微電子技術股份有限公司、科大訊飛股份有限公司、中國科學院長春光學精密機械與物理研究所等12家企業、科研院所簽訂中試合作協議。

“希望廣東微納院繼續加強科研攻關和中試平臺工藝能力建設，努力實現引領性原創性技術突破，加快重大科技成果高效轉化和迭代應用，探索建立科技創新和產業創新互促互強的半導體向‘新’生態。”中國科學院蘇州納米所黨委書記鄧強表示。

自廣東微納院成立以來，已為百余家科研院所、高校和企業提供技術服務和人才輸出，獲得了業屆的廣泛認可，成為廣東半導體產業的重要支撐平臺之一。廣東省科技廳二級巡視員夏奇峰表示，中試平臺是連接實驗室與產業界的橋梁，希望廣東微納院繼續發揚創新引領精神，不斷提升產業輻射策源能力，為廣東省和大灣區半導體產業的蓬勃發展注入新動能。

產業園建設提速

打造半導體產業集聚強磁場

依托半導體中試平臺，廣東微納院于2023年啟動二期建設。二期定位為產業孵化區，建設6萬㎡專業化半導體產業載體，其中潔凈廠房3.4萬平方米，預計2025年一季度進入試運行階段，將打造成為華南地區潔凈面積最大、產業鏈覆蓋最全的專業化技術驅動型主題園區。現場舉行了簡單而隆重的封頂儀式，6家企業與廣東微納院簽訂了意向落戶協議。

會上，廣東微納院副院長王暉介紹半導體產業園規劃與建設情況。

“當前廣東微納院已構建了‘一核五園多要素’平臺格局，除了中試平臺通線及二期項目封頂外，研究院將推進三期項目規劃，持續配備更多半導體產業相關設備，引進培育一批半導體上下游產業企業，打造成半導體全鏈條產業服務平臺。”王暉表示，在地方政府的支持規劃下，圍繞廣東微納院的臨近地塊都可以為企業落地提供支持，將有望打造形成全廣東省乃至華南地區最適合發展半導體產業的集聚區域。未來，廣東微納院將不斷擴展產業版圖，打造成為具有全國影響力的集產業孵化、人才培養、芯片制造等要素的科創平臺。

佛山市副市長陳新文表示，作為市首批中試平臺授牌單位之一，希望廣東微納院繼續發揮引領龍頭作用，深化半導體中試平臺+產業孵化育成的創新模式，為企業解決技術瓶頸和難題，推動半導體產業向更高層次、更廣領域發展。

此外，廣東微納院與華南師范大學工學部還舉行了合作簽約儀式，并與廣東綠展科技有限公司、廣東匯芯半導體有限公司、廣東鴻浩半導體設備有限公司等三家企業分別達成產學研合作，多方將開展多層次、多形式的合作，加速人才鏈、創新鏈和產業鏈的深度融合，實現科技與產業雙向奔赴。

審核編輯 黃宇