來源：芯東西

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芯東西7月4日報道，近日，上交所官網披露終止半導體裝備企業北京華卓精科科技股份有限公司（簡稱“華卓精科”）的發行上市審核，原因是華卓精科及其保薦人撤回發行上市申請。

頂著沖刺“光刻機第一股”的光環，華卓精科闖關科創板之路一度備受關注，其IPO擬募資7.35億元，用于半導體裝備關鍵零部件研發、超精密測控產品研發中心等項目。

華卓精科在2020年6月24日申請科創板IPO，2021年7月29日首次上會遇暫緩審議，同年9月17日上會通過，但此后遲遲不見提交注冊稿，直至今年6月26日終止IPO。

不止是華卓精科，今年迄今已有超過十家半導體企業終止科創板IPO，這份長長的名單還包括大連科利德半導體材料股份有限公司、得一微電子股份有限公司、合肥芯谷微電子股份有限公司、寧波奧拉半導體股份有限公司、杭州華瀾微電子股份有限公司、上海芯旺微電子技術股份有限公司、蘇州明皜傳感科技股份有限公司、華羿微電子股份有限公司、青島信芯微電子科技股份有限公司、山東華光光電子股份有限公司、北京晶亦精微科技股份有限公司等。

華卓精科成立于2012年5月，法定代表人是孫國華，任華卓精科總經理；實際控制人和控股股東是清華大學長聘教授朱煜，任華卓精科首席科學家。其核心產品為納米精度運動及測控系統，該系統是光刻機的核心子系統之一，其性能對晶圓進行光刻時起到決定性影響，能極大提高光刻機的精度和生產效率。

在申報稿中，華卓精科稱自己是“國內首家自主研發并實現納米精度運動及測控系統商業化生產的企業”、“是國產高端光刻機龍頭企業納米精度運動及測控系統產品及技術開發的供應商”。

2012年4月，在清華大學支持下，北京清華工業開發研究院與IC裝備研究室核心團隊共同協商決定設立華卓有限。

在2023年1月提交多個回復文件之后，華卓精科再無新問詢與回復文件披露。熬了四年的科創板IPO路，最終鎩羽而歸。

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審核編輯 黃宇