超聲諧振驅動原理的直線與360°旋轉壓電馬達！
利用超聲諧振驅動原理的壓電馬達，其基本工作原理就是利用壓電材料的逆壓電效應，使其能產生超聲波頻率的機械振動，再通過摩擦驅動的結構設計，從而驅動移動臺做旋轉運動或直線運動。
超聲是一種超出人聽覺范圍外的高頻振動，因此超聲壓電馬達具有噪聲小的特點。此外，它還具有結構小，響應速度快，可斷電自鎖等優點。在精密加工測量儀器、半導體加工設備、醫療、航空航天等高技術領域應用前景廣闊。
不同壓電馬達的運動原理
芯明天超聲諧振驅動壓電馬達
（1）N59系列直線壓電馬達
產品外觀
產品特點
? 一維X向運動
? 速度達25mm/s
? 分辨率達50nm
? 斷電自鎖
應用
? 光學儀器領域
? 精密儀器領域
? 醫療器械
? 微劑量注射器
? 小負載、大行程納米定位
? 科學研究
? 光纖對接
? 微細加工
? 原子力顯微鏡
? 半導體的精密定位和微納操作等
技術參數
| 型號 | N59.9K |
| 運動自由度 | X |
| 標稱行程范圍 | 9 或 ±4.5mm |
| 速度上限 | 25mm/s |
| 分辨率 | 50nm |
| 負載能力 | 0.2kg |
| 工作溫度 | 0~50℃ |
| 質量 | 4g |
| 材質 | 鋁，不銹鋼 |
| 電纜長度 | 0.1m |
（2）N69系列旋轉壓電馬達
產品外觀
產品特點
? 360°雙向旋轉運動
? 速度可達220rpm
? 斷電自鎖
? 真空版本可選
應用
? 光學儀器領域
? 精密儀器領域
? 醫療器械
? 微劑量注射器
? 半導體技術
? 圖像處理
? 納米計量
? 光學儀器設備制造
? 干涉儀等
技術參數
| 型號 | N69.K2 |
| 運動自由度 | 360°雙向 |
| 最大速度 | 220rpm |
| 分辨率 | 30μrad |
| 扭矩 | 1mN·m |
| 軸向負載力 | 0.2kg |
| 工作溫度 | 0~50℃ |
| 質量 | 3.5g |
| 材質 | 鋼、鋁 |
| 電纜長度 | 0.1m |
配套控制器
E66.A2K-H1板卡式壓電控制器可控制N69系列和N59系列超聲壓電馬達，單通道開環驅動，尺寸為38mm×27mm×12mm，可外部輸入PWM信號控制，操作更便捷，小體積設計更易集成。
審核編輯 黃宇
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