近期，蘇州敏芯微電子技術股份有限公司成功獲得了一項創新性的專利——“氣流傳感器及氣流傳感器封裝結構”，該專利的授權公告號為CN116982758B，授權公告日期為2024年5月17日，申請日期為2023年9月26日。

此項專利發明了一種新型的氣流傳感器及其封裝結構。該傳感器由基底、振動電極和固定電極三部分組成，基底設有貫穿其厚度方向的背腔。此外，該傳感器還設有至少一個均壓結構，并將其與間隙層進行物理隔離，以確保在傳感器背腔與外部空間之間形成連續的流動路徑。這樣做既能保證非工作狀態下，振動電極兩側表面的壓力平衡，避免ASIC檢測到信號引發其他部件誤觸發；又能防止污染物從均壓孔進入，降低產品失效率。