近日，MEMS器件可靠性試驗創新聯合體（以下簡稱“聯合體”）成立大會在京召開，智芯公司、北京大學、清華大學、哈工大、北航、中科院微電子所、中科院空天研究院、中電科三十八所等23家單位入選聯合體首批成員單位，國家市場監管總局、北京市科委相關領導出席成立大會并講話。

MEMS器件可靠性試驗創新聯合體成立大會

聯合體由中國機械總院集團基礎制造技術研究院（以下簡稱“中機研”）發起成立，成員單位涵蓋科研院所、高校、企業等多個領域。聯合體將重點圍繞MEMS器件設計仿真分析、基礎材料研發、標準工藝設計、測試技術、MEMS器件產品研發與中試驗證等領域開展技術攻關，加速MEMS器件研發創新與孵化。未來，聯合體將充分發揮各成員單位資源優勢，以實際行動踐行國資委“要加快發展戰略性新興產業，支持中央企業牽頭建立創新聯合體，加快打造原創技術策源地，強化關鍵核心技術攻關”要求。

之前，智芯公司采集傳感事業部與中機研等標準機構共同推進中國傳感器與物聯網產業聯盟能源專委會的標準工作。中機研作為專委會的副理事長單位和標準工作組的組長單位，協同專委會伙伴開展標準預研工作，成熟的標準草案對接不同的標準機構，已發布4項團標，正在起草4項行標。作為TC336成員單位，智芯公司牽頭TC336能源領域MEMS技術標準研究組工作，組織預研的《微機電系統(MEMS)技術 MEMS磁傳感器技術規范》、《微機電系統(MEMS)技術 車規級MEMS半導體氣體傳感器技術規范》2項國家標準提案正在國標委立項公示，預計今年5月底正式立項。

MEMS器件可靠性試驗創新聯合體成員單位授牌

下一步，智芯公司將積極參與聯合體建設，深度研究MEMS器件測試技術，實現對MEMS器件在線檢測和封裝后的檢測，并依托聯合體懷柔創新基地重點實驗室及MEMS研發平臺，面向MEMS器件典型應用場景，開展產品研發與中試驗證。同時充分聯合各單位開展科技項目合作，加強能源領域傳感器的基礎技術和應用研究，為新型電力系統的建設提供有力支撐。