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2024一開年，科學儀器行業便迎面而來一大新政策。3月13日國務院印發《推動大規模設備更新和消費品以舊換新行動方案》。其中明確了“推動符合條件的高校、職業院校(含技工院校)更新置換先進教學及科研技術設備，提升教學科研水平。”

KLA Instruments作為儀器行業的優質提供商，將積極響應國家政策，助力設備更新與以舊換新行動，為行業專家、學術界和其他創新者提供值得信賴的量測技術，助力中國乃至世界實現科學技術上的突破性發展。

探針式輪廓儀

KLA InstrumentsAlpha-Step，TencorP系列和HRP系列探針式臺階儀提供高精度的2D和3D表面形貌量測，可為您的研發和生產提供臺階高度、表面粗糙度、彎曲度和應力等測量，具有良好的穩定性和可靠性。

光學輪廓儀

我們豐富的光學輪廓儀系列產品涵蓋多種光學測量技術，包含白光干涉技術，真彩色成像和ZDot點陣專利技術，我們可以幫助您找到滿足您測量需求的正確解決方案。Profilm3D和Zeta光學輪廓儀可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。

納米壓痕儀

KLAInstruments的納米壓痕儀可對硬度、楊氏模量和其它力學性能進行精確測量。從發布市場上第一款納米壓痕儀，到將納米壓痕技術擴展到快速、高溫和高應變速率測試中，我們一直在開發新的靜態與動態測量方案，推動下一代納米力學測試儀的發展。

薄膜厚度儀

我們就可以通過分析薄膜的反射光譜來測量薄膜的厚度，通過非可見光的測量，我們可以測量薄至1納米或厚至3毫米的薄膜。測量結果可在幾秒鐘顯示：薄膜厚度、顏色、折射率甚至是表面粗糙度。

方塊電阻測試儀

KLA方塊電阻測試儀能夠滿足各種測量需求，包括：金屬薄膜及背面工藝層厚度測量，襯底電阻率，方塊電阻，薄膜厚度或電阻率，薄層和體材料的導電率，等等。

對于較薄的金屬和離子注入層，建議采用接觸式四探針(4PP)測量方法，對于較厚的金屬層和柔性或軟性的導電表面，建議采用非接觸式渦流(EC)測量方法。

Candela 缺陷檢測系統

Candela系統對化合物半導體襯底（GaN，GaAs，InP，藍寶石，SiC等）和硬盤驅動器上的各種關鍵缺陷進行檢測和分類，保證生產過程中檢測的高靈敏度和高效率。

審核編輯：劉清