英特爾最近因決定從荷蘭 ASML 購買世界上第一臺高數值孔徑(High-NA)光刻機而成為新聞焦點。到目前為止,英特爾是全球唯一一家訂購此類光刻機的晶圓廠,據報道它們的售價約為3.8億美元。
該公司發布了一段視頻,顯示這臺笨重的機器被運往俄勒岡州的工廠以及隨后的拆箱。這是半導體晶圓廠業務幕后的有趣景象,同時也展示了機器拆箱后的復雜程度
該視頻展示了通過貨機機頭卸載Twinscan EXE:5000光刻機,然后將其運輸到英特爾俄勒岡州工廠的快速延時拍攝。從光刻機被抬進了進建筑物內,看到它是如何像禮物一樣被打開的,以及工廠如何擁有開始組裝過程的機械?
據Tom's Hardware 稱,EXE:在250個板條箱中運輸,總重為330,000磅。該機器預計將在2025年全面投入使用,這很好,因為組裝至少需要六個月。組裝完成后,英特爾將對其進行校準并準備開始制造芯片
這種漫長而艱巨的組裝和測試過程可能是英特爾的競爭對手目前使用高數值孔徑保持干燥狀態的原因之一。讓機器啟動并運行,然后了解如何制造無缺陷的硅晶圓是一個非常漫長且具有破壞性的過程,一些分析師表示,不值得為此付出成本和中斷晶圓廠的生產線。
然而,英特爾認為這是對其未來的明智投資,因為它可以顯著增加晶圓密度。它還假設整個行業最終將過渡到高數值孔徑,因此,如果英特爾能夠先于競爭對手實現高數值孔徑量產,那么英特爾將比臺積電和三星更具優勢。
英特爾計劃在 High-NA 機器上測試即將推出的英特爾 18A 工藝,只是為了看看它是如何工作的,而不是為客戶制造可行的芯片。該公司已宣布計劃于2026年在其 14A 工藝(1.4nm)中采用 High-NA 工藝,隨后于2027年采用英特爾 10A 工藝(即 1nm)。
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