據ASML發布的報告，2023年第四季度凈銷售業績為72億歐元，毛利潤率達51.4%，均處預期之上。全年凈銷售額為276億歐元，同比2022年增長30%，毛利潤率為51.3%，實現盈利78億歐元。

值得注意的是，第四季度中國市場僅占ASML營業額的39%，而上一季度仍高達46%。

得益于極致紫外線（EUV）設備搶手，ASML第四季度訂單預估額高達91.9億歐元（折合99.8億美元），比第三季度的26.02億歐元足足翻了近三番。根據彭博社數據，分析師普遍預計為36億歐元。ASML最新款EUV光束打印機的預訂額為56億歐元。同時，ASML還在下半年交付了首架裝配新型高度鏡頭（High NA）極紫外光刻系統的機器。

對于2024年預期，ASML預計第一季度凈銷售額將在50億至55億歐元之間，毛利潤率為48%至49%。公司總裁兼首席執行官彼得·溫尼克表示，ASML對整體全年持審慎態度，認為2024年研發投入大約為10.7億歐元，2024年營收與2023年基本持平。