據麥姆斯咨詢介紹，住友精密（Sumitomo Precision Products）是一家全球領先的高精度工業產品制造商，近期推出旗下MEMS Infinity的代工服務，擴大在MEMS制造生態系統中的作用。MEMS Infinity是一家150毫米和200毫米MEMS晶圓代工廠，通過原型設計和大規模生產，滿足客戶對MEMS概念設計和評估的不斷增長的需求。

MEMS Infinity位于日本尼崎市（Amagasaki）的工業和技術中心，擁有一個20,000平方英尺的潔凈室，可以制造多種MEMS器件，包括靜電式和電磁式傳感器和執行器。MEMS Infinity也是該行業為數不多的提供PZT薄膜組合的MEMS代工廠之一。PZT薄膜是一種可將電能轉換為機械能的壓電材料，反之亦然。PZT薄膜非常適合用于高性能執行器、微機械超聲換能器（MUT）和聲學傳感器等新興技術。

epi-PZT晶圓

“住友精密是在MEMS行業三十年的經驗基礎上發展起來的。”住友精密董事總經理Masahiko Tanaka先生說道，”到20世紀90年代中期，住友精密收購了英國的STS——其制造深反應離子刻蝕（DRIE）設備。到20世紀90年代末，住友精密以我們的附屬公司的名義生產和銷售MEMS加速度計，以及后來的高精度MEMS陀螺儀。隨著MEMS Infinity的推出，我們新的MEMS代工服務將加速高質量MEMS器件的商業化，這些器件符合全球無晶圓廠（Fabless）企業最嚴格的要求。”

MEMS傳感器的整體市場不斷增長。預計到2028年，MEMS市場規模將達到200億美元，其中汽車、航空航天、工業和醫療等高增長市場約占據一半市場份額，MEMS Infinity主要為這些高增長市場提供MEMS代工服務，發揮自己特別關鍵的作用：提供專有MEMS技術平臺以促進創新發展。

關于MEMS Infinity

MEMS Infinity擴大了住友精密的MEMS服務范圍，正在推進面向不同行業的MEMS傳感器和執行器的開發和大規模生產。MEMS Infinity擁有20,000平方英尺的潔凈室，擁有150毫米和200毫米MEMS晶圓制造線，其中包括PZT專用的圖案化設備和高性能外延PZT（epi-PZT）薄膜沉積設備。MEMS Infinity使用經過生產驗證的工具，符合ISO質量和環境可持續性標準。

審核編輯：劉清