1月11日至純科技發布公告稱,公司今年新簽訂單額達132.93億元,同比增長92.48%,連續五年-十五年長期訂單金額高達86.61億元。根據公司之前的數據顯示,2023年年中以來新訂單額急劇增加,同比增長超38%。截至2023年6月底,公司在手訂單額53.23億元,其中超過七成來自半導體領域,其余來自泛半導體和生物醫藥業。
至純科技旗下的至微科技是國內濕法設備市場主流供應商之一,在28納米節點實現了全覆蓋,全工藝機臺亦均有訂單。在更為尖端的制程中,至微科技已有部分工藝獲得訂單。作為濕法設備中技術最為復雜的設備,至微科技的S300 SPM機臺現已交付給眾多國內龍頭晶圓廠,并成功應用于12英寸邏輯量產線,每月產能可達6萬片次以上。該設備累計產量已突破20萬片次,是中國高階濕法設備實現進口替代的重大突破。至微科技也是目前為止,國內能達到上述高端濕法設備量產標準的獨家企業。
至純科技在濕法設備應用于成熟制程的產品線擴展穩步進行,在部分邏輯用戶和第三代半導體用戶的生產線中的滲透率不斷攀升。雖然在先進制程中的高階產品線受制于用戶擴產進程稍顯滯后,但在高溫硫酸、FINETCH及單片磷酸等技術仍被國際廠商掌握的領域,至純科技的交付和驗證水平處于全國領先地位。
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