對于生命科學和材料科學的研究人員來說，一個可以提供超高亮度和寬帶光譜的光源是必不可少的。以前，為了達到寬光譜的需要，多采用復合光源的方式，將氘燈、氙燈、鹵鎢等等等集成在一起作為燈組來使用。但是,集成這些燈來實現寬光譜的燈組極大地增加了成本,影響了使用效率。這些傳統的使用電極驅動的燈源, 由于高溫的燒蝕，燈的壽命很短，需要經常更換燈泡。為了解決燈泡壽命過短的問題，Energetiq公司創造性地研發了激光驅動等離子體氣體發光的技術，即激光驅動光源技術(LDLS?=Laser-Driven Light Source)。這個技術不但解決了燈泡壽命短的問題，還同時大幅提高了氣體燃燒溫度，從而輸出光譜范圍拓展到170nm 到2100nm ，輻射亮度和穩定度也極大提升，使LDLS光源成為傳統電極驅動燈組光源的完美替代品。

激光驅動白光光源(Laser Driven Light Source)，簡稱LDLS，是一款利用高能聚焦激光束來驅動氙等離子體的超高亮寬光譜光源。該系列產品不僅可以在170 nm至2100 nm的光譜范圍內提供超高發光亮度，比如在DUV的亮度就是傳統光源如氙燈的10倍以上，而且整個光源的發光壽命相比較于傳統光源也高出了整整一個數量級(>9000 h)。

圖2 LDLS及相關模塊化產品一覽

根據使用環境和輸出功率的不同需求，可以選擇不同型號的LDLS光源進行匹配。其中，LDLS光源提供自由空間輸出或光纖耦合輸出的緊湊型EQ-99系列、自由空間輸出的EQ-9系列、高亮度自由空間輸出的EQ-77系列、高功率應用的超高亮度EQ-400系列。(見表2)

表2 LDLS光源主要產品

此外還提供高亮度輸出波長可調窄光譜LDTLS系列(見表3)，以及2022年還發布了新的可以精準控制輸出光譜特性的CES光源(Chromatiq Spectral EngineTM)點擊此處可了解該產品。

表3 LDTLS系列光源主要產品