激光干涉儀以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，是迄今公認(rèn)的高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

激光干涉儀的工作原理

激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，最后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒(méi)有變化時(shí)，激光干涉儀會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。若光程差有變化時(shí)，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化。

激光干涉儀可以完成哪些測(cè)量？

1、在機(jī)械制造領(lǐng)域中，可以用來(lái)檢測(cè)零部件的尺寸誤差和形狀誤差。
2、幾何參量高精密測(cè)量：激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量。
3、精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備導(dǎo)軌的檢測(cè)：激光干涉儀可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
4、同步測(cè)量：激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測(cè)量。
5、回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)：激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)。
6、動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析：激光干涉儀具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
7、誤差補(bǔ)償表生成：激光干涉儀可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)。
8、環(huán)境補(bǔ)償：激光干涉儀支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

SJ6000激光干涉儀應(yīng)用