北京北方華創微電子裝備有限公司的“半導體晶片處理腔室及半導體處理設備”專利獲批。許可公告日為11月14日，許可公告號為cn111799191b。

根據發明專利要點，該公司提供的一種半導體晶片處理腔室及半導體處理設備；半導體晶片處理腔室包括腔體、設置在該腔體內可沿豎直方向移動的片盒和設置在腔體內的加熱組件，還包括溫度檢測組件，該溫度檢測組件的檢測部為溫度檢測板，該溫度檢測板設置在腔體內，且與腔體固定連接，用于檢測腔體的內部溫度。

本發明提供的半導體晶片處理腔室可以解決現有熱電偶的導線連接安全問題。