蔡司三坐標SPECTRUM型號是ZEISS目前高性價比機型，與蔡司其它機型一樣具有布局全球的銷售和服務。以下是三本精密儀器講解的幾個硬件是蔡司三坐標SPECTRUM6大硬件優勢。

1/橫梁陶瓷，膨脹系數小，對溫度變化不敏感，更易保持測量機的精度。

2/光柵尺，玻璃陶瓷光柵尺，溫度膨脹系數接近于零（0.2-0.4um/度/米）玻璃陶瓷光柵尺由于膨脹系數接近于零，不需要溫度補償，穩定性更強。

3/光柵尺的安裝方式由于導軌和橋架的溫度膨脹無法被完全消除，將光柵尺懸浮安裝在一層硅油上，一端固定、一端自由。

4/導軌，各個導軌均采用四面環抱的氣浮軸承，保證機器運行的穩定和精度，不會增加任何徑跳動和角擺誤差。

5/測座配置RDS-C5:全自動旋轉測座，在X-Y平面和Z向均可實現3600旋轉，步距角為50，空間旋轉位置可達5184個;集成的RDS-CAA技術只需通過12個角度位置的校準就可用于其它所有角度的測量。

6/探頭配置，ZEISS VAST XXT:蔡司自主研發制造的接觸式掃描探頭，測力連續可調;驗收時探針長度為50mm,探針直徑為3mm。