為了從根本上直接改善TOPcon太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)換率，電池廠商通常需要在太陽(yáng)能電池片表面進(jìn)行氧化退火工藝，從而使沉積的薄膜材料具有更高的方阻/電阻率，氧化退火工藝是影響TOPcon太陽(yáng)能電池性能的重要工藝。「美能光伏」生產(chǎn)的美能在線(xiàn)四探針電阻測(cè)試儀，可通過(guò)自身獨(dú)特的5點(diǎn)、9點(diǎn)全自動(dòng)掃描技術(shù)，測(cè)量TOPcon太陽(yáng)能電池片中一塊區(qū)域內(nèi)的方阻/電阻率，并可以將測(cè)量后的數(shù)據(jù)與其他區(qū)域的數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)比，從而科學(xué)評(píng)估出沉積薄膜后太陽(yáng)能電池的性能穩(wěn)定性！

深入了解TOPcon太陽(yáng)能電池

TOPcon太陽(yáng)能電池是一種基于隧穿氧化層鈍化接觸的高效太陽(yáng)能電池技術(shù)，其電池結(jié)構(gòu)為N型硅襯底電池，在電池背面制備一層超薄氧化硅，然后再沉積一層摻雜硅薄層，二者共同形成了鈍化接觸結(jié)構(gòu)。通過(guò)沉積這些薄膜材料，便可有效降低表面復(fù)合和金屬接觸復(fù)合，提高電池的開(kāi)路電壓和填充因子。

對(duì)于已經(jīng)沉積薄膜材料的TOPcon太陽(yáng)能電池而言，要想深入了解其薄膜材料的電阻率/方阻，從而評(píng)估其光電轉(zhuǎn)換率的大小是很難的，一般都需要借助外界因素如一些檢測(cè)設(shè)備來(lái)進(jìn)行科學(xué)檢測(cè)。用于測(cè)量ITO薄膜、非晶硅薄膜等各種薄膜材料的美能在線(xiàn)四探針電阻測(cè)試儀，具有與非接觸式渦流測(cè)量不同的四探針技術(shù)，該技術(shù)可以使測(cè)量的分辨率更高、精度更準(zhǔn)確、穩(wěn)定性更強(qiáng)、測(cè)量的范圍更寬。

氧化退火對(duì)TOPcon性能的影響

●氧化硅薄膜層的厚度和質(zhì)量是影響TOPcon太陽(yáng)能電池性能的重要因素。氧化硅薄膜層的厚度和質(zhì)量決定了隧穿效應(yīng)的強(qiáng)弱，進(jìn)而影響了載流子的選擇性收集和復(fù)合損失。一般來(lái)說(shuō)，氧化硅薄膜越薄、越均勻、越無(wú)缺陷，隧穿效應(yīng)越強(qiáng)，載流子的選擇性收集就會(huì)越好，復(fù)合損失相對(duì)來(lái)說(shuō)就會(huì)越小，TOPcon太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)換率就會(huì)越高。然而，氧化硅薄膜不能過(guò)于薄，否則就會(huì)導(dǎo)致界面態(tài)密度增加，鈍化效果降低。因此，需要尋找一個(gè)最佳的氧化硅厚度，以平衡隧穿效應(yīng)和鈍化效果。

不同溫度下退火對(duì)電池性能的影響

●退火的溫度和時(shí)間也是影響TOPcon太陽(yáng)能電池性能的重要因素。退火的溫度和時(shí)間決定了摻雜硅薄層的結(jié)晶程度、摻雜濃度和分布等特性，進(jìn)而影響了載流子的輸運(yùn)性能和接觸電阻等參數(shù)。通常而言，退火的溫度越高、時(shí)間越長(zhǎng)，摻雜硅薄層越晶化、越活化、越鈍化，載流子的運(yùn)輸性能越好，接觸電阻會(huì)越小，TOPcon太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)換率就會(huì)越高。然而，退火溫度和時(shí)間也不能過(guò)高或過(guò)長(zhǎng)，否則會(huì)導(dǎo)致氧化硅薄膜的破壞、摻雜硅薄層的過(guò)度擴(kuò)散、金屬電極的形變等不利影響。因此需要尋找一個(gè)最佳的退火溫度和時(shí)間，以平衡摻雜硅薄層的結(jié)晶、活化和鈍化效果。

美能在線(xiàn)四探針電阻測(cè)試儀

FPP230 Auto是專(zhuān)為光伏工藝監(jiān)控設(shè)計(jì)的在線(xiàn)四探針?lè)阶鑳x，可以對(duì)樣品進(jìn)行快速、自動(dòng)的掃描，獲得樣品不同位置的方阻分布信息，可根據(jù)客戶(hù)樣品大小定制測(cè)量尺寸。

● 測(cè)量范圍滿(mǎn)足1μΩ~100MΩ的薄層電阻

● 能夠匹配自動(dòng)化設(shè)備，并可隨時(shí)溯源

● 與產(chǎn)線(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)工序完美銜接

● 提供良好的電接觸同時(shí)保證零碎片

● 測(cè)量點(diǎn)數(shù)可根據(jù)客戶(hù)需求定制

美能在線(xiàn)四探針測(cè)量演示視頻

使用氧化退火工藝進(jìn)行生產(chǎn)，可大幅度提高TOPcon太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)換率，然而為了深入了解其退火后電池的方阻/電阻率，就必須通過(guò)精密的檢測(cè)設(shè)備進(jìn)行科學(xué)測(cè)量。「美能光伏」生產(chǎn)的美能在線(xiàn)四探針電阻測(cè)試儀，可以通過(guò)自身獨(dú)特的全自動(dòng)5點(diǎn)、9點(diǎn)掃描功能，實(shí)現(xiàn)在一塊太陽(yáng)能電池片上的多個(gè)區(qū)域內(nèi)方阻/電阻率測(cè)量，并在測(cè)量后保證零碎片率，從而助力電池廠商進(jìn)行后續(xù)的生產(chǎn)！