半導體行業的生產設備有刻蝕、薄膜沉積、清洗、濕制、封裝和測試、拋光、硅晶圓制造等，這些精密生產設備中有電氣元器件、執行部件、監測控制儀器等，對供電的穩定性和質量要求很高。

某半導體單晶硅材料生產車間有很多的單晶爐，晶體在生長和拉制時對溫度有嚴格要求，因此安裝了智能高溫在線測溫儀，對生產期間的溫度進行嚴格的監測和控制。

但是電源模塊經常損壞，大多發生在工作流程快結束的幾個小時工作區間內，而且損壞是隨機的。

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現場設備及供電情況：

高溫智能在線測溫儀

（1000-3200°C）

由于生產設備對供電質量要求很高，車間由兩路UPS供電，一路大約帶100臺原晶生產設備。

一路的負載是單純的單晶爐，沒有損壞現象。

另外一路，除了單晶爐，還帶有機械泵等其他動力設備。

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監測方案：

Fluke 1777

電能質量分析儀

既然是損壞發生在工作流程快結束的幾個小時，因此，請用戶挑選了一臺即將結束工作流程的設備，將一臺電能質量分析儀Fluke 1777連接在三相供電電源處，監測有沒有發生過壓和過流。

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先對儀器做基本的設置：

測試了20多個小時，捕捉到了一次浪涌事件

出現了一次浪涌電流

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浪涌電流詳情如下：

正常工作時的電流不超過2A

因此觸發閾值設置為4A

但是捕捉到的浪涌電流是正常工作電流的5倍多（10.43A）

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浪涌發生時電壓電流的趨勢圖

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電流波形圖

電流波形出現大的偏差時

電壓波形沒有畸變（右下角）

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電壓電流諧波

盡管含量較高，但是幅值很小，沒問題！

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后續建議

敏感精密測試儀器使用單獨供電（穩定，波動小）

減小其他機械泵等負載啟停對生產設備的影響

在測溫儀24V供電前面增加一個隔離模塊

審核編輯：劉清