而蔡司工業CT計算機斷層掃描能在前兩者的基礎上輸出清晰的幾何形狀比較，還有全尺寸量測、虛擬裝配檢驗、孔隙率及探傷分析、材料檢驗等功能，同時還可以用于逆向工程。

可以簡單概括為，一般型蔡司工業CT不具有尺寸精度認證，所以無法保證檢測精度，且多用于缺陷檢測，著重于2D影像缺陷識別。而工業CT具有尺寸精度認證，能完整追溯尺寸精度，能應用于尺寸測量、失效分析、各類缺陷檢測中，具有完整的定位與檢測功能。

蔡司工業CT內部結構缺陷分析檢測后會生成Volume data和STL三角網格資料兩個主要的檔案。前者主要應用于失效分析，可以透過軟件來看切層影像, 能透過灰階切層影像來做缺陷分析。在檢測中常用于開發后段, 組裝相關問題分析, 模塊測試前后分析, 客訴件分析等。后者常見于單材料檢測，可以與CAD 做比對, 量測線性尺寸, GD&T 型位公差尺寸等。常用于開發前期，進行單一零件問題解析與尺寸量測。