在晶硅太陽能電池的生產過程中，離子注入是一項非常重要的工藝，它可以大幅度提高光電轉換率，實現在應用中的精益有效。「美能光伏」作為一家具有眾多檢測電池和組件性能設備的光伏企業，擁有的美能傅里葉紅外光譜儀可通過測量離子注入工藝后晶硅太陽能電池的H含量，來判定其鈍化效果是否符合電池生產標準，進而判斷太陽能電池的效率與性能。本期「美能光伏」將給您介紹離子注入技術在晶硅太陽能電池中的應用優勢！

離子注入工藝原理

離子注入是一種半導體工藝，它是使用加速離子束將特定元素注入到太陽能電池片的表面。離子注入工藝的原理是利用加速器將離子束加速到高速，然后將離子束引導到太陽能電池的硅片表面，離子束與電池片表面相互作用，使得離子進入太陽能電池的表面層，注入的離子將太陽能電池片表面的原子替換為注入的離子，從而改變電池的光電性能，提升太陽能電池的光電轉換率。

離子注入在晶硅太陽能電池中的應用

離子注入過程中高能離子對硅片晶格會造成一定的損傷，可通過高溫退火的方法消除該損傷，利用退火這一步驟可同時在硅片表面生長一層薄的SiO2層，對硅片表面起到鈍化作用。然而為了保障晶硅太陽能電池的鈍化情況是否達到制作工藝的生產標準，就可以通過美能傅里葉紅外光譜儀進行一鍵計算R結構因子以及H含量，從而判斷晶硅太陽能電池的鈍化效果。

離子注入電池工藝流程圖

離子注入技術的優勢

離子注入制備發射極在高方阻情況下能保證很好的均勻性，且退火過程同時可對發射極進行熱氧化鈍化，可減少表面復合損失。離子注入制備的發射極能與絲網印刷電極有更好的接觸，有利于減少接觸電阻的損失。離子注入可增加晶硅太陽能電池的有效受光面積，從而減少光學損失，通過離子注入工藝的注入劑量、離子能量和退火工藝，能精確控制摻雜水平，實現晶硅太陽能電池的高光電轉換率。

美能傅里葉紅外光譜儀

一鍵計算R結構因子以及H含量

超大光譜范圍可達7800~350cm-1

光譜波數準確度優于1.0cm-1、波數重復性優于0.1cm-1

進口高靈敏度DLATGS檢測器、透光率精度≤0.5T

節約人工、操作易上手、大大提高工作效率

離子注入技術在晶硅太陽能電池中具有顯著的應用價值，可使晶硅太陽能電池具有鈍化作用，從而有效提高電池的光電轉換率，并可在大規模生產中降低生產成本，提高生產速率。「美能光伏」生產的美能傅里葉紅外光譜儀可幫助電池廠商在生產電池時，了解電池的鈍化情況，并根據「美能光伏」所擁有的解決方案解決在制作晶硅太陽能電池的過程中所遇到的鈍化問題！