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傳日本更可能實施對光刻/薄膜沉積設備的出口管制

微云疏影 ? 來源:綜合整理 ? 作者:綜合整理 ? 2023-08-28 09:28 ? 次閱讀
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據《電子時報》報道,隨著日本對華半導體設備出口禁令7月23日正式生效,業內普遍希望了解這對中國半導體行業的影響。此次出口控制共包括23種半導體設備,其中包括光加工、蝕刻、薄膜沉積、熱處理、洗滌和檢查等。DIGITIMES Research調查分析家Eric Chen表示,對照片圖表和薄膜沉積設備的限制可能會進一步實施,從而影響中國先進的半導體制造

光刻設備方面,荷蘭asml、日本尼康和佳能公司是主要供應企業,在全世界占據95%以上的市場占有率。在食用裝備領域,美國泛林集團、應用材料及東京電子(tel)是主要企業,世界市場占有率合計在90%以上。薄膜沉積設備企業有美國的kla、應用材料、日本的日立、東京電子和ulvac(真空技術股份公司)、瑞士的evatec、荷蘭的asm。這些公司占全球市場份額的80%至90%左右。

據分析師eric chen的研究,到2022年,中國半導體設備進口的60%以上仍來自美國、日本和荷蘭,其中日本仍是中國最大的半導體設備來源,約占進口額的30%。

分析家Eric Chen指出:“日本近一半的出口管制與薄膜加工設備有關。”但是這類設備包含了多種技術。在這種情況下,出口控制的對象主要是利用鈷、釕等尖端工程的金屬聚合設備、40納米以下工程的原子層沉積設備、多重制圖工程的硬掩膜沉積設備等。

對于激光照相設備,Eric Chen主張說,日本浸潤式深紫外線(duv)激光照相設備的出口可能會受到影響。據分析,雖然日本不生產極紫外線(euv)桅桿裝備,但將適用對euv掩膜裝備、euv工程涂料及開發相關裝備、euv裝備的空白或事前暴露掩膜檢查裝備的限制。

在蝕刻設備方面,eric chen指出,日本對硅鍺的濕式蝕刻設備和干式蝕刻設備有限制。與此相比,對硅鍺刻蝕設備的管制措施只限于干式設備。分析人士認為,日本對硅鍺蝕刻設備出口控制更加嚴格,主要是因為硅鍺零部件將廣泛應用于航空,航空,軍事等領域。

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