9812DX作為單一完整的低頻噪聲測試系統，支持多種半導體器件類型在各種工作條件下（如200V高壓、10pA極低電流等）的高精度噪聲測試。通過低頻噪聲測試，可以幫助芯片制造廠檢測和排除工藝制造缺陷，確保芯片質量符合預期，提高芯片穩定性。

晶圓級噪聲測試精度和高測試帶寬，最低測試噪聲的電流精度低至10-27A2/Hz。

典型噪聲測試速度提高至一個偏置條件僅需20s、最高測試電壓提高到200V。

通過并行測試架構解決方案以及協同FS-Pro半導體參數測試系統等方式大幅度提高測試效率和吞吐量。

用于28/14/10/7/5/3nm等各工藝節點的先進工藝研發和高端集成電路設計。

內置功能強大的NoiseProPlus軟件，支持1/f噪聲、RTN噪聲測試和數據分析。

產品亮點：

行業黃金標準：全球半導體行業低頻噪聲測試“黃金標準”系統

廣泛采用：已被眾多行業領先半導體公司所采用的標準測試系統

并行測試：經頭部客戶驗證的高精度、高測試吞吐率并行測試能力

寬量程：晶圓級高精度和測試帶寬寬電壓、寬電流、寬阻抗測量范圍

系統架構：系統體系架構經行業認可并不斷完善兼具高精度和可靠性

覆蓋廣泛：同時覆蓋從10Ω到10MΩ的高阻抗器件和低阻抗器件測試能力

技術參數：

寬量程： 最大器件端電壓和電流 : 200V, 200mA

高精度： 最高 DC 電流精度 : 10pA、 系統噪聲電流精度 : <10-27A2 /Hz

測試速度：典型 1/f 噪聲測試速度可達 10 秒 /bias

抗阻范圍：阻抗匹配范圍 : 10?-10 M? Gate/Base

電阻多達 16 個選擇

Drain/Collector 電阻多達 15 個選擇

系統參數： 電壓放大器：0.03-10MHz, 0.65nV/Hz(@5kHz)

電流放大器：0.03-1MHz, 0.7pA/ Hz(@5kHz)

寬帶電流放大器：0.03-10MHz, 5pA/ √Hz (@5KHz)

高精度電流放大器：0.03-20KHz, 60fA/ √Hz (@5KHz)

可編程偏置濾波器 、ESD 保護

內置 16 位 DSA

支持多臺并行測試

產品應用：

先進工藝質量/工藝評估和品質監控

低頻噪聲特性測試和噪聲數據分析

半導體器件SPICE模型庫開發

高端集成電路設計和驗證

審核編輯 黃宇