來源：《半導體芯科技》編譯

微型掃描儀體積小、重量輕、能效高，是移動場景應用的理想選擇。Fraunhofer IPMS已開發出200多種不同的微型掃描儀，以滿足客戶的特定要求。服務范圍涵蓋整個價值鏈，從設計和原型開發到在自己的無塵室進行8英寸晶圓試生產。Fraunhofer IPMS不斷擴大掃描鏡技術的應用范圍，提供新穎的專利設計方案和技術模塊，并集成人工智能。

△微型掃描儀在醫療技術中潛力巨大

微型掃描儀是一種微小的光學元件，可以使微小的鏡面繞一個或多個軸線偏轉，從而實現非?？焖俸途_的掃描或投影。其非接觸式操作、體積小、重量輕、能效高，為醫療技術開辟了新的可能性。微型掃描儀的醫療應用包括醫用內窺鏡、共聚焦顯微鏡、熒光顯微鏡、光譜儀和眼科的圖像采集。

Fraunhofer IPMS的微型掃描儀具有掃描角度大、掃描頻率高以及長期穩定性好的特點。該研究所的服務還包括支持客戶開發用于可控高精度驅動的特定模塊設置和電子解決方案。特別是對于中小型企業來說，Fraunhofer研究所提供的各種評估套件使他們有可能將微型掃描儀技術集成到其產品開發中，而無需耗費大量時間和成本在內部開發符合規范的控制電子設備。

Fraunhofer IPMS 微型掃描儀在醫療技術中的應用

近年來，Fraunhofer IPMS已經能夠對其先前為客戶開發的微型掃描儀進行驗證，以便將其集成到客戶的產品中。因此，這些設備在實際應用中證明了它們的價值。

例如，幾年前，Fraunhofer IPMS開發了雙諧振MEMS掃描儀，構成了數字化牙科用緊湊型X射線膠片掃描儀的核心。這些微型掃描儀在公司內部的無塵室中通過了客戶產品認證，作為試生產的一部分，年產量可達數千臺。在專門開發的集成電子元件載體上進行組裝以及隨后的測試也在Fraunhofer IPMS進行。研究所的ISO 9001認證保證了Fraunhofer IPMS的質量符合工業標準。

Fraunhofer IPMS醫療技術的其他應用還包括為Norlase公司開發激光掃描儀，用于眼科治療視網膜和青光眼患者。通過使用Fraunhofer IPMS的MEMS掃描儀，系統實現了前所未有的小型化和高分辨率。

該研究所正在為新成立的Envision Diagnostics公司開發用于標準化、快速和可靠的眼科檢查的微型掃描儀，該檢查可記錄、評估和顯示所有質量參數。這將為醫生提供更全面、更可靠的患者數據，使他們能夠做出更安全的決策。

Fraunhofer IPMS顯微掃描鏡在顯微鏡中的應用

顯微掃描鏡在醫學顯微鏡中也有很多應用。借助光學相干斷層掃描技術，可以對物體的表面和深度結構進行分析，分辨率可達微米級。Fraunhofer IPMS公司生產的微掃描鏡能夠記錄一種新型的環境參數，用于腫瘤輪廓的新型激光掃描顯微鏡的核心部件。這使得癌癥手術更快、更精確、更安全。在手術室中，外科醫生可以使用顯微鏡檢查剛剛切除腫瘤的組織。事先涂抹的熒光標記使切口后殘留的癌細胞清晰可見。這樣就可以完全、精確地切除這些癌細胞。由于顯微鏡能準確顯示健康組織的起始位置，因此周圍組織不會受到影響。而且無需等待實驗室結果。

ZEISS公司的ZEISS Lattice Lightsheet 7被德國總統授予2022年德國未來獎，它也使用了 Fraunhofer IPMS的微型掃描儀技術。用于對活細胞進行平滑3D成像的顯微鏡系統使用了該研究所開發的光偏轉立方體（LDC）掃描儀模塊。該模塊已通過認證，并作為當前產品試產的一部分提供給客戶ZEISS公司。

審核編輯 黃宇