微導納米簽3.86億大單 向億晶光電銷售TOPCon電池設備

微導納米發布公告稱與滁州億晶光電（600537）科技有限公司簽下大訂單，價值人民幣3.86億的TOPCon電池設備銷售合同。

作為國內原子層沉積技術的領軍企業微導納米的愿景是成為世界級的微納技術解決方案裝備制造商；正在一步一步堅定邁進。

江蘇微導納米科技股份有限公司（簡稱“微導納米”，股票代碼688147.SH）成立于2015年12月，是一家面向全球的半導體、泛半導體高端微納裝備制造商。公司形成了以原子層沉積（ALD）技術為核心，CVD等多種真空薄膜技術梯次發展的產品體系，專注于先進微米級、納米級薄膜設備的研發、生產與應用。公司業務涵蓋光伏、LED、集成電路，及MEMS 等泛半導體相關領域，以及新能源和柔性電子領域；主要產品為應用于光伏電池、硅基微顯示、邏輯芯片、存儲芯片、化合物半導體和3D封裝等半導體及泛半導體的專用設備和成套技術，以及應用于柔性電子、新一代高效太陽能電池整線的量產解決方案。2022 年12 月23 日，公司成功登陸上交所科創板。

公司榮獲工信部 2021 年第三批專精特新“小巨人”企業、2021 年蘇南國家自主創新示范區獨角獸企業、2020 年度江蘇省小巨人企業（制造類）等榮譽稱號，并被認定為江蘇省原子層沉積技術工程技術研究中心、江蘇省外國專家工作室、江蘇省博士后創新實踐基地、江蘇省研究生工作站、江蘇省省級企業技術中心。在不斷完善自有研發平臺建設、持續鞏固自身研發實力的同時，公司與上海交通大學、南京大學、芬蘭赫爾辛基大學等知名院校建立了良好的合作關系，共同推進技術的創新發展。

自成立以來，公司通過不斷吸納國內外優秀人才和保持高水平研發投入，已在微米級、納米級薄膜沉積核心技術領域具有豐富的技術積累。公司產品率先用于光伏電池片生產過程中的薄膜沉積環節，具備優良的產能提升能力與產品性能，在保障光電轉換效率的同時，有效幫助下游電池片廠商大幅降低了設備投資額與生產消耗成本。在此基礎上，公司繼續深化開發對技術水平和工藝要求更高的半導體薄膜沉積設備，是國內首家成功將量產型High-k 原子層沉積設備應用于28nm 節點集成電路制造前道生產線的國產設備公司，設備總體表現和工藝關鍵性能參數達到國際同類水平，并已獲得客戶重復訂單認可，填補了我國在該項半導體設備上的空白。

公司也是國內少數能在短期內快速反饋并協助客戶解決產線上技術問題的專用設備廠商之一，具備承擔下一代光伏電池設備和半導體設備研發及產業化項目的技術儲備和人才基礎。公司將持續圍繞市場需求，深化自主創新，加快核心技術攻關，進一步拓展并薄膜沉積技術的應用領域，推動高端技術裝備的國產化、產業化，力爭成為世界級的微納制造裝備領軍企業。