以白光干涉測量技術為基礎的三維光學輪廓儀對產品進行高品質監控時不需要取下產品或停止生產，而且采用的是非接觸式光學測量，在獲得實時數據的同時，不會對產品造成任何損傷，從而有效節約了生產成本，提高了生產效率，并且在線檢測，沒有滯后性，從而減少不合格品，對表面缺陷檢測亦如此。

輪廓分析步驟介紹：
1.將樣品放置在載物臺鏡頭下方；
2.檢查電機連接和環境噪聲，確認儀器狀態；
3.使用操縱桿調節Z軸，找到樣品表面干涉條紋；
4.微調XY軸，找到待測區域，并重新找到干涉條紋；
5.完成掃描設置和命名等操作；
6.點擊開始測量（進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會）；
7.臺階樣品分析第一步：校平；
8.進入數據處理界面，點擊“校平”圖標，和平面樣品不同，臺階樣品需手動選取基準區域，選好基準區域后，先“全部排除”再“包括”；
9.若樣品表面有好幾處區域均為平面且高度一致，可多選擇幾個區域作為基準面進行校平；
10.臺階高度測量：線臺階高度測量
11.進入分析工具界面，點擊“臺階高度”圖標，即可直接獲取自動檢測狀態下的面臺階高度相關數據；
12.在右側點擊“手動檢測”，根據需求選擇合適的形狀作為平面1和平面2的測量區域，數據欄可直接讀取兩個區域的面臺階高度數值；
13.臺階高度測量：線臺階高度測量
14.進入數據處理界面，點擊“提取剖面”圖標，使用合適方向的剖面線，提取目標位置的剖面輪廓曲線；
15.進入分析工具界面，點擊“臺階高度”圖標，由于所測為中間凹槽到兩側平面高度，因此點擊右側工具欄，測量條對數選擇“2”，將紅色基準線對放置到凹槽平面中間，兩對測量線對分別放置在兩側平面，即可在數據纜讀取臺階高度數據。

粗糙度分析操作步驟：
1.將樣品放置在夾具上，確保樣品狀態穩定；
2.將夾具放置在載物臺上；
3.檢查電機連接和環境噪聲，確認儀器狀態；
4.使用操縱桿調節三軸位置，將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋；
5.完成掃描設置和命名等操作；
6.點擊開始測量（進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會）；
7.進入數據處理界面，點擊“去除外形”，采用默認參數，點擊應用獲取樣品表面粗糙度輪廓；
8.進入分析工具模塊，點擊參數分析，直接獲取面粗糙度數據，點擊右側參數標準可更換參數標準，增刪參數類型；
9.如果想獲取線粗糙度數據，則需提取剖面線；
10.進入數據處理界面，點擊“提取剖面”圖標，選擇合適方向剖面線進行剖面輪廓提取；
11.進入分析工具界面，點擊“參數分析”圖標，點擊右側參數標準，勾選所需線粗糙度相關參數，即可獲取線粗糙度Ra數據。