場景 半導體晶體生長測溫

要解決的問題

還原爐應用中，需多點位測溫，有的點位位置較高對準目標比較困難。

升溫過程中，材料狀態可能發生變化，導致發射率隨之發生變化導致測溫失準。建議使用雙色測溫儀。

直拉法應用中，一般集成于內部溫控系統，安裝空間有限。建議使用分體光纖式設備。

需透視窗測量反應物。建議使用近紅外短波測溫。

場景特點 SCENE FEATURES01

反應溫度需維持在高溫狀態（還原爐約1080℃、直拉法約為1500℃）。

02可能有較強的電磁干擾，需要使用分體式光纖設備。03

熔融石英坩堝內部反應。

04

腔室內填充保護性氣體。

解決方案核心優勢IGAR 12-LO（分體光纖測溫儀）

在高溫/高壓/電磁場等環境中，只放進一個測溫鏡頭，通過光纖傳輸光信號，最大程度的減少了環境的干擾項，保證測量的準確無誤。

測溫范圍全覆蓋（300~2500℃）。

高精度，最小可精確讀數到0.5%+1℃。

極短的響應時間（2ms）。

極小的光斑尺寸（最小為0.45mm）。

光纖探頭耐溫高達250℃。

診斷功能。

雙色/單色、0/4-20mA、RS232/RS485均可切換。

IGAR 6-TV

具有直觀的視頻模式，且接線簡單。

可記錄視頻實時圖像或視頻，多種格式儲存。

測溫量程全覆蓋（100~2000℃）。

高精度，最小可精確到讀數的0.4%+2℃。

可變焦鏡頭，可調節測距（可從210至2000mm內測溫）。

設定內可調多種參數，使用多種環境需求。

技術參數