SJ6000激光干涉儀采用雙頻氦氖激光器作為光源。其精度高，抗干擾能力強，空氣湍流、熱波動等影響甚微，因此降低了對環境條件的要求，使它不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。測量分辨率0.01″，系統測量精度為±1″，基準WR50自動精密轉臺重復精度為0.2″。主要特點是小巧便攜、功能強、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。

激光干涉儀可以檢測數控車床定位精度和重復定位精度，但是激光干涉儀的常規光路搭建都是水平或垂直方向，如何檢查斜導軌機床？

SJ6000激光干涉儀的線性附件——可調轉向鏡，能把水平射出的激光俯仰偏轉25°以上，結合線性鏡組可用于傾斜機床、三坐標對角線的測量。

斜床身車床定位精度測量配置主要由SJ6000主機、EC20環境補償單元、線性鏡組（可調轉向鏡鏡組）、SJ6000靜態測量軟件等組件構成，可滿足0~80m范圍內的線性測量。

產品功能

• 可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；
• 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
• 可實現對機床回轉軸的測量與校準；
• 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；
• 具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；
• 支持手動或自動進行環境補償。

中圖儀器以實現高精密儀器自主化為己任，SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。