MEMS振動傳感器簡介

MEMS加速度傳感器是運用MEMS芯片（即微型電子機械系統（Microelectro Mechanical Systems））結合傳統的半導體工藝和材料,實現對單軸、雙軸甚至三軸加速度進行測量并產生模擬或數字輸出的傳感器。MEMS無線智能振動傳感器是集成MEMS加速度芯片、微執行器、微機械機構、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、供電模塊、通訊模塊等于一體的高度集成化和智能化的微系統。其具有免布線、便捷部署、體積小、高性價比、多功能、數字化輸出和邊緣計算等特點，是工業物聯發展的主流趨勢。

振動測量與分析首要條件就是將傳感器與被測物體緊密相連，使傳感器能真實測得的被測物體的振動信號。如何能夠獲取到設備最真實的信號，一般來說需兩個必備條件：即合適的測量位置以及良好的安裝固定方式。

測點選擇

常見的設備均為滾動旋轉設備，滾動的旋轉機械的運動部件有轉軸、聯結器、齒輪、葉輪、傳動帶及帶輪等等。所有運動部件安裝在轉軸上，轉軸通過滾動軸承或滑動軸承安裝在軸承座上。

復雜的殼體需要詳細的內部設計資料以確定軸承類型和機械信號傳遞的最佳途徑。盡管殼體散熱片、聯軸器罩和風扇罩這類部件會限制安裝，傳感器仍須盡量靠近軸承安裝。如果軸承難以接近，可以安裝傳感器后將線接到隔壁合適位置，允許對測點的非中斷測量。下圖給出典型機器上傳感器安裝的推薦位置。

安裝方式

目前常見的安裝方式有：螺釘安裝、粘膠安裝、磁吸安裝。

1、螺釘安裝：需要在被測設備打孔，安裝固定螺釘然后固定傳感器，一般常用M6的螺釘。特殊的安裝位置及設備，我們可以為客戶定制安裝底座。

螺釘安裝方式圖

定制底座安裝方式圖

2、膠粘安裝：在被測物體不允許鉆孔時，可使用各種粘接劑（如環氧樹脂膠、AB膠等）。使用質量較高的膠水一般可以獲取到良好的信號。

粘膠安裝方式圖

3、磁吸安裝：在經常拆卸傳感器場合，磁座安裝是一種方便的安裝方法。被測表面較平坦，并且是鋼鐵結構，可直接使用磁吸安裝。

磁吸安裝方式圖

根據美國實驗室給出不同安裝方式的采集頻率范圍如下：

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擁有多傳感器融合算法、超低功耗遠距離無線傳輸、邊緣（端）計算與數字化輸出、微能能量采集等關鍵技術，主要產品為無線智能3軸溫振智能傳感器、手持式無線智能點檢儀、高可靠戶外基站、工業捷聯APP、IEM-cloud云診斷平臺等。

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