溫度、壓力、流量是工業中3大檢測參數，其中，流量檢測有很長的歷史。

近年來，隨著對微電子機械系統(MEMS)的深入研究和取得的進展，傳統的工業和流體力學研究的流量傳感器向高集成度、微型化、高精度、高可靠性方向發展，微型流量傳感器已成為MEMS的重要研究方向。

MEMS流量傳感器具有多種用途，例如感測環境流量、工業氣體流量監控、生物醫學應用中的流量感測和海洋流體動力感測。MEMS流量傳感器的緊湊尺寸，高靈敏度，低價格和批量生產功能使其在商業和工業應用中具有很大的吸引力。

產品原理

MEMS熱式流量傳感器的流量芯片由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成，熱偶堆對稱地分布在加熱電阻的上、下游，加熱電阻和熱偶堆的熱結處于一個隔熱底座上。

加熱電阻對熱偶堆的熱結進行加熱，熱偶堆熱結和冷結之間的溫度梯度導致輸出電壓。當流體靜止時加熱電阻兩側對稱位置的溫度是相同的；當流體從右向左流動時等溫線向左側傾斜，加熱電阻兩側對稱位置的溫度不再相同，溫差可由置于加熱電阻兩側的熱偶堆測定 。

由于流體的傳熱只與流體質量和流體的熱容有關，因此傳感器可以直接測出流體質量流量。

煒盛科技自主研發的微流量傳感器于2012年即研發成功并取得相關專利，產品質量穩定可靠，符合我司參與起草的《JB/T 13111-2017 熱式質量流量傳感器》行業標準。

產品特點：

新一代MEMS傳感器芯片技術

精度高，響應速度快，重復性好

可精確測量極小流量

經過完全校準和溫度補償

產品選型

產品應用領域

微流量傳感器是利用熱力學原理對流道中的氣體介質進行流量檢測，具有很好的精度與重復性。在工業生產、科學實驗、產品質量把控、生產效率提高、能源節約等方面發揮著重要作用。

呼吸機

醫療領域

病床供氧

醫院樓層管道供氧

制氧機

麻醉機

原子分光光度計

儀器儀表

氣相色譜

氣密檢漏儀

風速計

其他領域

空氣采樣器

打火機自動調火設備