影響電動輪廓儀測量精度的因素主要有以下幾點。

1．觸針的半徑

傳感器觸針的端部越尖，越能真實地反映被測工件表面的微觀幾何形狀誤差，但觸針過尖，不僅制造加工很困難，而且更易劃傷被測表面。觸針端部一般均制成圓弧形，此圓弧半徑越大，帶來的測量誤差越大。低精度輪廓儀觸針端部的圓弧半徑為5um或10um。高精度輪廓儀觸針端部的圓弧半徑為1um。

2．傳感器導頭半徑

傳感器導頭的作用是，觸針在被測表面上移動的過程中，形成觸針感觸微觀幾何形狀誤差的基準線，因此要求導頭曲率中心的運動軌跡與被測表面的宏觀幾何形狀輪廓一致。只有當輪廓曲線起伏間距小或導頭的圓弧半徑較大時，才能達到此項要求。若導頭的圓弧半徑過小，則在測量中導頭將隨被測表面微小峰谷的起伏而上下運動．致使導頭曲率中心的運動軌跡與被測表面的宏觀輪廓不一致，造成觸針與導頭的相位誤差。影響測量精度。但導頭圓弧半徑過大，也會使被測表面的宏觀幾何形狀誤差反映到測量結果中，降低測量精度，因此一般要求導頭半徑為7～50mm。

3．測力

為確切反映被測表面粗糙度，要求觸針與被測表面可靠地接觸。如果測力過小難以達到此目的，會帶來一定的測量誤差。但如果測力較大，則既易劃傷被測表面，也易使觸針端磨損。所以測力大小必須適當二另一方面，測力大小的．選擇還與觸針端部圓弧半徑大小相關。觸針圓弧半徑較大時，選擇的測力可適當大些；觸針圓弧半徑較小時，選擇的測力必須相應減小。一般對應關系見表4.2.3。

表1觸針測力與圓弧半徑對應關系

電動輪廓儀的保養

①每天開機前及測量完畢后用高織紗棉布蘸無水酒精清潔工裝表面、測針、軌道。

②平時不使用時將所有電源關閉，且將測針的保護套套上。

③嚴禁用掃帚清掃地面，以免灰塵揚起。

④對儀器進行全面的維護和精度調整。