非接觸3d光學輪廓儀主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量，主要測量參數為粗糙度、臺階高、幾何輪廓，主要用于超精密加工行業。

工作原理

光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束，一束經被測表面反射回來，另外一束光經參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

中圖儀器SuperViewW1系列白光干涉儀可測量程范圍內的三維尺寸，不過白光干涉儀的主要用途還是用于檢測樣品表面的粗糙度、臺階高、微觀幾何輪廓等參數。其采用了掃描模塊和內部抗振設計，可實現高0.05%的測量精度重復性和0.002nm的粗糙度RMS重復性，詮釋始終如一的測量品質。提供1100單鏡頭手動版和1200多鏡頭自動版兩種機型，另可針對不同的客戶需求，在兩種型號間選取不同配置進行組合，讓儀器切合客戶需求，貼心省力。

軟件功能
(1)提供多種數據處理方式。
提供校平、鏡像、旋轉等操作調整圖像位置；
提供空間濾波、標準濾波、閾值糾正、去除形狀、頻譜變換等濾波操作對數據進行修正；
提供提取區域、提取剖面、抽取輪廓等操作**檢測區域。
(2)提供多種分析工具。
提供距離、臺階高度等要素測量；
提供點、線、圓弧、角度等特征測量，以及直線度、真圓度等形位公差評定，為用戶展現強大的輪廓分析功能；
提供基于表面的紋理分析，方便地觀察紋理方向與紋理均質性；
提供圖形分析、島嶼分析、分形分析、孔的體積等多種有針對性的分析功能；
提供頻譜分析功能，相位信息、平均功率譜密度信息、自相關性等；
提供線粗糙度、面粗糙度的參數分析功能；
提供依據四大國內外標準(ISO/ASME/EUR/GBT)計算的2D，3D參數

(3) 可視化的工作流模式，數據處理器和結果管理器具有可視工作流程樹圖，在每個節點既可以是數據處理選項也可以是分析結果。
(4) 多樣化的視圖觀察角度，3D視圖可以清晰地查看被測物的每一個特征，并可以在3D視圖、2D投影圖、等高線圖之間任意切換。
(5) 內置多種分析方案，可對特定表面進行一鍵分析，自動生成一組分析結果，節約操作時間；并可自定義方案，將用戶的分析項目組合起來，避免重復操作。
(6) 便捷的分析功能，可實時提取表面二維剖面，實現對樣品的操作所見即所得。
(7) 擁有多種報表形式，用戶可根據需要導出分析結果到Word、Pdf等常用辦公軟件中。

現代化工業數字化測量要求高精度化、低成本和小型化等，都是時代對制造業提出的緊迫要求。中圖儀器研發生產的非接觸3d光學輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸，數秒內，可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。典型結果包括：

1、表面形貌（粗糙度、平面度、平行度、臺階高度、錐角等等）
2、幾何特征（關鍵孔徑尺寸、曲率半徑、特征區域的面積和體積，特征圖形的位置和數量等等）