在微電子、微機械、微光學等領域，因為現有的接觸式測量方法具有測量速度慢、易劃傷測量表面的缺點，以及單一的光學非接觸測量方法難以完成對大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測量，只有以白光干涉技術為基礎的3D光學表面輪廓儀能實現超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測量，提供更高精度的檢測需求。

3D光學表面輪廓儀工作原理

光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束，一束經被測表面反射回來，另外一束光經參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

中圖儀器SuperViewW13d表面光學輪廓儀支持自動聚焦功能，只需將Z向調到貼近樣品表面（小于鏡頭工作距離），選擇好聚焦范圍，即可自動聚焦到樣品清晰成像表面并獲取干涉條紋。 采用經國家計量檢測研究院校準的臺階高標準片作為測量標準件，采用該標準片對儀器的檢測精度和重復性進行驗收，其中臺階高標準片高度在4.7um左右，測量精度要求為<0.75%，重復精度要求<0.1%（1σ）（測量15次獲取的數據標準差），主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量，主要測量參數為粗糙度、臺階高、幾何輪廓等。

中圖儀器3d表面光學輪廓儀具有測量精度高、分析功能強大、使用方便、測量參數齊全等優點，其光源模式保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質量檢測。系統軟件為簡體中文操作系統，操作方便。