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從光譜范圍來看，傳統的輻射校準光源，如氘燈、石英窗鹵素鎢燈、長弧氙燈等在光譜測量范圍上都具有非常大的局限性，因為上述光源無法在200 nm-800 nm范圍內保持較高的輸出。另外，傳統光源需要在使用100小時或更短時間后進行重新校準，在使用500小時后還需要更換燈泡。為了解決上述問題，Hamamatsu集團旗下的Energetiq公司經過一系列不懈的努力革命性地研發出單點激光驅動光源技術，并將其命名為LDLS（Laser Driven Light Source），該類光源不僅可以在170 nm至2100nm的光譜范圍內提供超高發光亮度，而且整個光源的發光壽命相比較于傳統光源也高出了整整一個數量級。

本講座視頻中，濱松中國工程師詳細介紹了LDLS的原理、性能特點、典型應用案例，以及應用中的常見問題，帶著大家進一步了解這個顛覆性的技術。

Q&A

Q：光源使用都必須需要充氮氣？還是使用紫外時充氮氣？

LDLS光源輸出大量深紫外光，200nm以下的深紫外光會使氧氣轉化為臭氧，同時臭氧會吸收240nm~270nm的深紫外光。因此，如需使用170nm~270nm的深紫外光，光源在使用時需要充入純凈氮氣。同時，充入氮氣也可以防止燈泡被空氣中有機蒸汽污染。為了保證光學器件的潔凈，氮氣需要滿足6級潔凈度，充入氮氣的氣壓需要保持在0.14 MPa。

Q：光源對環境的要求是什么？高穩定性指標能到多少？

光源對環境的要求：為了防止光源光窗和其他光學器件的污染，需要將光源在相對潔凈的環境中使用。光源需要向外部散發熱量，需要將光源放置在散熱良好的空間中。

高穩定性指標能到多少：請參照EQ-99XFC的穩定性測試情況。

Q：光束特性是什么，是準直光么，發散角是多少？

EQ-99X是自由空間輸出的點光源，NA=0.47；

EQ-77是自由空間輸出的點光源，NA=0.5；

EQ-400是自由空間輸出的點光源，NA=0.5；

EQ-99XFC是光纖輸出，NA=0.22。

Q：發光器件是耗材么，后期需要怎么維護？

我們推薦每9千小時進行一次燈泡更換，燈泡更換需要返廠，更換完成后會重新老化校準保留測試數據。

Q：紫外波段使用時高純度氮氣流量1slm，消耗量非常大，是否可能封閉燈室減少氮氣用量？

封閉燈室，需要通過膠水或者焊接的方式將燈室完全密封。燈室部分，需要對燈泡和光源部分進行更換和調整，而且EQ-77，EQ-400光源，還需要水冷部分，所以無法封閉燈室，只能通過流動的氮氣。

Q：能做到150mm的大光斑么？

LDLS的特點是小光斑，高亮度，通過外置光學系統，可以將光束擴大到150mm，但是光束擴大后亮度也會相應降低，所以需要總體看擴大光束后亮度降低的情況能否滿足實際需求。

審核編輯：湯梓紅