壓電納米定位臺在精密定位領域中發揮著至關重要的作用,可集成于各類高精密裝備,為其提供納米級運動控制,且應用非常廣泛,例如顯微掃描、光路調整、納米操控技術、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。隨著科技不斷進步,精密定位技術對于定位系統的行程、負載、精度要求也不斷攀升,哈爾濱芯明天科技有限公司持續加強技術實力和研發能力,不斷攻克技術壁壘,提升產品性能,以滿足對大行程、大負載、高精度的應用要求。
此次為大家介紹的是一款具有大行程、大負載特點的一維壓電納米定位臺,型號為XD770.300S,尺寸為130mm×100mm×33mm,實物外觀如下圖所示。

Z向運動,大負載、大行程
XD770.300S壓電納米定位臺為Z軸方向的運動平臺,行程可達300μm,負載可達5kg,實現行程范圍和負載能力的雙提升,為同時有大行程、大負載應用需求提供了優質的解決方案。配合芯明天壓電控制器,分辨率高、響應速度快。

配置閉環傳感,更高精度
XD770.300S壓電納米定位臺內部配置有閉環傳感器,反饋可體現精確位置的電信號,可對壓電納米定位臺的運動位置進行實時調整,提供更高的精度。經過實測,它的線性度可達0.08%F.S.,重復定位精度可達0.02%F.S.。
| 線性度 | |
| 正向線性度(%F.S.) | 0.056% |
| 反向線性度(%F.S.) | 0.073% |
| 雙向線性度(%F.S.) | 0.073% |
| 重復度 | |
| 正向重復度(%F.S.) | 0.011% |
| 反向重復度(%F.S.) | 0.009% |
| 雙向重復度(%F.S.) | 0.017% |
緊湊尺寸,多孔安裝
XD770.300S壓電納米定位臺在具有大承載的情況下,體積并未有過大的增加,反而很緊湊。在它的移動上表面,具有16個負載安裝孔,非常便于負載的安裝。

技術參數
| 型號 | XD770.300S |
| 運動自由度 | Z |
| 驅動控制 | 1路驅動、1路傳感 |
| 標稱行程范圍(0~120V) | 240μm |
| 行程范圍(0~150V) | 300μm |
| 傳感器 | SGS |
| 閉環分辨率 | 10nm |
| 線性度 | 0.08%F.S. |
| 重復定位精度 | 0.02%F.S. |
| 俯仰/偏航/滾動 | <15μrad |
| 空載諧振頻率 | 380Hz |
| 帶載5kg諧振頻率 | 110Hz |
| 閉/開環空載階躍時間 | 300/10ms |
| 承載能力 | 5kg |
| 靜電容量 | 43.2μF |
| 工作溫度 | -20~80℃ |
| 材質 | 鋼、鋁 |
| 重量 | 2kg |
推薦控制器
XD770.300S壓電納米定位臺可使用芯明天E53.D系列壓電控制器驅動,它是單通道壓電控制器,可通過模擬輸入控制或上位機軟件控制。具有體積小、易集成等特點。

審核編輯黃宇
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