在振動測量領域中，測量監控手段與方法多種多樣，本文主要討論電測量方法，電測法的要點在于先將機械振動量轉換為電量（電動勢、電荷、及其它電量），然后再對電量進行測量，從而得到所要測量的機械量。這是目前工業生產領域應用的最廣泛有效的方法。

電測量法用到的振動傳感器種類豐富，按照工作原理的不同，能分為電渦流式位移傳感器、電感式速度傳感器、壓電式加速度傳感器、電容式振傳感器和電阻應變式傳感器等，下面主要對轉動設備應用最多的前三種傳感器原理進行研究介紹。

1、電渦流式位移傳感器工作原理：在傳感器的端部有一線圈，線圈通以頻率較高的交變電壓，當線圈平面靠近某一導體面時，由于線圈磁通鏈穿過導體，使導體的表面層感應出一渦流，這種現象被稱為渦流效應。電渦流傳感器就是建立在電渦流效應原理上的一種傳感器，它可以對一些物理量實現非接觸式測量，具有結構簡單、體積小、靈敏度高等優點。

當電渦流傳感器接近被測導體時，被測導體表面產生電渦流，這樣原線圈與渦流“線圈”形成了有一定耦合的互感，使線圈電感發生變化。被測導體與傳感器之間間隙越小，導體產生的電渦流越大，傳感器線圈的電感量就越小。它的輸出電壓是電感的函數，因此導體與傳感器之間間隙變化時，測得輸出電壓值就可獲得間隙值，電壓值再經前置器放大以 0V～24VDC信號進入振動監測系統。渦流式位移傳感器的主要特點是它與被測點沒有接觸，因此它特別適用于轉動設備旋轉軸的振動測量。

2、電感式速度傳感器原理：電感式速度傳感器是一種動圈式（磁電式）的傳感器。當傳感器與結構一起振動或傳感器動圈上的頂桿與結構相連時，由于結構的振動，使傳感器的線圈在磁鐵磁場中產生運動，切割磁力線而產生感應電動勢，感應電動勢的大小與動圈運動速度成正比。因此，通過感應電動勢的量測即可確定結構的振動速度。

電感速度傳感器固定于振動體（比如軸承蓋）上，測得的結果為振動體的絕對速度；傳感器殼體固定于一個物體上，頂桿頂住另一個物體，測量所得為兩物體的相對速度。與電感式速度傳感器配套的二次儀表一一電感式測振儀，主要是微積分放大器，濾波器和檢測指示部分，用于對傳感器輸出的信號進行放大，可直接測量速度；并且經過積分電路可測量位移；經過微分電路可測量加速度。

3、壓電式加速度傳感器：壓電式加速度傳感器是利用晶體的壓電效應來完成振動測量的，當被測物體的振動對壓電式振動傳感器形成壓力后，晶體元件就會產生相應的電荷，在一定的壓力范圍內，輸出電荷與加速度成正比。所以通過對壓電加速度計輸出電荷的量測即可確定加速度的大小。壓電式加速度傳感器配套的二次儀表常用電荷放大器，電荷放大器是一種高增益的帶電容負反饋，并且輸人阻抗極高的運算放大器。它的輸出電壓與壓電加速度計發出的電荷成正比，與反饋電容成反比，它受電纜電容的影響很小，這是電荷放大器的一個主要優點。電荷放大器的輸入端一定要很好地加以屏蔽。

目前工業現場大型旋轉機械設備用于振動測量的以渦流傳感器為主，只有在渦流傳感器安裝不便，或對測量有特殊要求時才選用（例如需要測量機殼或機座的絕對振動），才考慮選用速度或加速度傳感器進行振動測量。

審核編輯黃宇