1.開關產品介紹

微波開關又稱射頻開關，實現了控制微波信號通道轉換作用。是射頻通路中的常用器件。涉及到通路的切換，都需要用到它，所以是智能手機必不可少的器件，射頻前端必須覆蓋非常寬的頻帶，從600MHz一直延伸到3GHz。隨著更加先進的5G技術的到來，頻段將進一步上延，甚至達到5GHz至60GHz。這給前端RF設計師帶來了巨大的挑戰。

2.開關產品的工藝及ESD防護特殊性

開關產品工藝有很多，比如早期的砷化鎵器，PIN二極管，硅基SOI工藝, RF MEMS等，但是比較流行的多為硅基SOI工藝，也就是由很多的MOS組成，由于其開關高達60GHz速度，這也就意味著這些管腳放入常規ESD防護電路是沒有用的，因為其開關的速度要遠快與ESD防護電路，所以一般射頻開關產品在射頻管腳上是沒有自己的ESD電路的，而是由其自身的MOS電路去泄放ESD能量，所以在MOS管的Gate上就有了多種處理方式，比如寄生電容，串電阻等。


3.ESD靜電HBM的測試

一般來說ESD測試是不用區分器件類型的，基本上消費類電子是按照國際規范JS001-2017進行有組合的測試，一般分為所有管腳對地，所有管腳對電源，IO管腳的相互測試打擊正負靜電即可，如圖1，另外打擊的脈沖間隔時間一般為設定為300ms。在實際測試結果來看，射頻開關類的器件，有時候測試的結果很理想，有時候同樣的產品結果又很差，甚至測試10顆芯片，結果的重復性非常差。

（圖1）

這一現象，有幾種可能性，比如芯片工藝問題，測試設備差異，測試方法標準，還與測試時脈沖的間隔時間相關。

用參數設計的方法，得到的結果是每次測試延時3秒以上，解決了問題，采用此方法可以得到不同設備一樣的結果。經過TLP設備的驗證也可以發現在器件開啟后會導致Hold Voltage 不穩定，也說明MOS在開啟時不均勻圖（2），意味著MOS在開啟的初始電位是不同的，所以對于射頻開關器件，最好是采用延長間隔時間來測試HBM,給予足夠的時間消散累積的電荷，如果還是有此問題，還可以繼續拉長間隔時間或采用給予待測器件上電的方式也可以解決此問題。

（圖2）

GIGA FORCE

季豐電子

上海季豐電子股份有限公司成立于2008年，致力于集成電路及相關領域內的軟硬件及設備研發與專業技術服務，為客戶提供一站式的綜合解決方案。公司的四大業務版塊包括：基礎技術中心、硬件軟件方案、特種封裝測試、儀器設備研發。

季豐電子通過高新技術、專精特新小巨人、研發機構、公共服務平臺等企業資質認定，通過了ISO9001、ISO17025、CMA、CNAS等認證。總部位于上海，在浙江、北京、深圳、成都等地設有分公司。