PFA管用途之一：供酸系統（CDS）
主要用途：設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送，經管道至設備；具有自動化程度高，配比精確，操作簡便等特點；具有良好的耐腐蝕性能。
1. 供液系統（Chemical Dispense System System）簡稱：CDS
2. CDS 將設置于化學房內：酸堿溶液CDS 系統要求放置防腐性的化學房；
3. 設備材質說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構采以WPP 10T 板材，內部管路及組件采PFA 材質；閥體材質型式：供腐蝕性化學品用之材質為PFA或PTFE。
4. 系統為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點；
5. 過濾器：配有10” PFA材質過濾器外殼；
6. 供液泵：每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質的進口隔膜泵；
7. Empty Sensor & Level Sensor：酸堿類采用一般型靜電容近接開關；
8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。
聲明：本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用，如有內容侵權或者其他違規問題，請聯系本站處理。
舉報投訴
-
cds
+關注
關注
0文章
16瀏覽量
14702 -
刻蝕
+關注
關注
2文章
220瀏覽量
13780
發布評論請先 登錄
相關推薦
熱點推薦
高供高計VS高供低計：功率因數達標實操指南
高供高計與高供低計差異顯著，高供高計重點補高壓側空載無功，高供低計重點提低壓側小負載功率因數，找對計量方式的適配方案，從根源上解決變壓器空載問題，才能讓企業用電既省錢又省心，徹底告別力
智能供紙系統的神經中樞：ETHERNET IP轉ETHERCAT網關如何同步驅動與感知
智能供紙系統的神經中樞：ETHERNET IP轉ETHERCAT網關如何同步驅動與感知 一、工廠需求與挑戰 在印刷行業，進料與供紙系統的精度
HFSS仿真鈮酸鋰電光調制器T型電極損耗較大
在HFSS仿真鈮酸鋰電光調制器T型電極時，盡管電極設為了完美電導體，介質的介質損耗角正切設為0，dB(S21)仍然有比較大的損耗，導致用ABCD矩陣計算時損耗較大，這是什么原因引起的，如何解決？
發表于 12-16 14:36
研磨液供液系統工作原理
研磨液供液系統是半導體制造中化學機械拋光（CMP）工藝的核心支持系統，其工作原理涉及流體力學、自動化控制及材料科學等多學科技術融合。以下是系統的工作流程與關鍵技術解析：
揭秘半導體制造的隱形衛士PFA氮氣吹掃裝置
在半導體芯片精密制造的幕后，有一種看似普通卻至關重要的實驗裝置——PFA氮氣吹掃裝置。這種采用高純度全氟烷氧基樹脂（PFA）制成的特種容器，正以其卓越性能守護著芯片制造的每一個精密環節
合粵CD系列電容與CDS系列技術同源嗎
合粵CD系列電容與CDS系列技術同源 ，均基于低ESR、高耐壓、寬溫域等特性設計，但具體應用場景和參數存在差異。以下是具體分析： 一、技術同源性的體現 低ESR特性 ：CD系列和CDS系列電容均采用
DEXMET超薄PFA延展網成功應用于半導體全氟折疊濾芯案例
大連義邦DEXMET DBST310300077 PFA延展網，專為半導體級全氟折疊濾芯設計。產品旨在解決國產編織網因厚度與交叉節點導致的平整度差、打褶面積受限問題，它的厚度0.11mm、無交叉點結構及可控的金屬離子析出率，旨在為上述問題提供一種可行的解決方案。
DEXMET PFA延展過濾網：0.11mm精度重塑芯片制造過濾工藝
大連義邦的DEXMET PFA全氟過濾支撐網憑借高精度（0.11mm）、耐強腐蝕、低摩擦、自潤滑等特性，成為半導體制造（如光刻、蝕刻、CMP工藝）中提升過濾效率、保障芯片良率的關鍵材料之一，其獨家延展工藝和工業化量產能力在國際市場具有技術領先優勢。
電容分為哪幾種，各有什么用途呢？
一、電容的分類?
?按介質材料分類?
?陶瓷電容?：鈦酸鋇/鈦酸鍶介質，高頻特性優，體積小（耐壓10V~100V），適用于高頻去耦和RF匹配電路。
?電解電容?：氧化鋁/鉭氧化物介質，容量大（μF
發表于 06-05 15:29
CDS與SDS供液系統兩者之間的區別
CDS（中央化學液供應系統）與SDS（自動供液系統）在半導體、醫療等領域均有應用，但兩者在功能定位、技術特點及應用場景上存在顯著差異。以下是兩者的核心區別： 1. 功能定位與
日立中央空調位居2024年兩聯供市場第一
。其中，日立中央空調以14.23%的市場占比位居2024年兩聯供市場第一，其“技術+生態”雙輪驅動戰略再次印證行業標桿價值。
UHV-646全自動水溶性酸測試儀操作使用說明
在電力系統及廠礦、企業都有大量的電器設備，其內部絕緣都是充油絕緣的，油品在氧化過程中不僅產生酸性物質，還伴有水分生成，其中的水溶性酸對幾乎所有金屬都有強烈的腐蝕作用，水溶性酸的存在對油品繼續氧化起到
發表于 04-02 11:33
?0次下載
工商網監
評論