CDS（中央化學液供應系統）與SDS（自動供液系統）在半導體、醫療等領域均有應用，但兩者在功能定位、技術特點及應用場景上存在顯著差異。以下是兩者的核心區別：

1. 功能定位與系統架構

CDS（中央化學液供應系統）

核心功能：為生產線提供24小時不間斷的化學液集中供應，支持多種工藝的自動化配液、補液和加液。

系統架構：通常采用中央供液模式，通過管道將化學液從儲存設備輸送至多個制程機臺，具備高度集成化和自動化的特點。

適用場景：廣泛應用于半導體制造中的濕法工藝（如光刻顯影、晶圓清洗、濕法刻蝕、化學機械拋光等），以及醫療領域的透析液集中供應。

SDS（自動供液系統）

核心功能：以本地化供應為主，專注于單體制程或特定工藝的化學液輸送，強調精準配比和靈活控制。

系統架構：采用模塊化設計，通過重力、氣力或泵力驅動液體輸送，支持手動與自動控制模式切換，適配不同規模的生產線。

適用場景：常見于半導體前端工藝（如研磨液輸送、清洗液配比）或需要靈活調整的本地化供液場景。

2. 技術特點對比

3. 關鍵差異總結

供應模式：

CDS是中央集中式系統，適合大型產線統一管理；

SDS是本地化分布式系統，更靈活且貼近機臺需求。

配液精度與復雜度：

CDS支持多工藝、多參數（溫度、濃度、流速）的精確控制，適合復雜制程；

SDS側重單工藝的高效配比，強調操作簡便性和快速響應。

應用場景：

CDS多用于半導體濕法工藝（如刻蝕、清洗）或醫療透析液供應；

SDS常見于半導體前端研磨/清洗環節，或小批量、高靈活性的生產環境56。

審核編輯 黃宇