翹曲度是實(shí)測平面在空間中的彎曲程度，以翹曲量來表示，比如絕對平面的翹曲度為0。計(jì)算翹曲平面在高度方向最遠(yuǎn)的兩點(diǎn)距離為最大翹曲變形量。

晶圓翹曲度影響著晶圓直接鍵合質(zhì)量，翹曲度越小，表面越平整，克服彈性變形所做的工就越小，晶圓也就越容易鍵合。晶圓翹曲度的測量既有高精度要求，同時也有要保留其表面的光潔度要求。所以傳統(tǒng)的百分表、塞尺一類的測量工具和測量方法都無法使用。

以白光干涉技術(shù)為原理的SuperViewW1光學(xué)輪廓儀，專用于超精密加工領(lǐng)域，其分辨率可達(dá)0.1nm。非接觸高精密光學(xué)測量方式，不會劃傷甚至破壞工件，不僅能進(jìn)行更高精度測量，在整個測量過程還不會觸碰到表面影響光潔度，能保留完整的晶圓片表面形貌。測量工序效率高，直接在屏幕上了解當(dāng)前晶圓翹曲度、平面度、平整度的數(shù)據(jù)。

SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓儀

光學(xué)輪廓儀測量優(yōu)勢：
1、非接觸式測量：避免物件受損。
2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-10mm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。
5、高速數(shù)字信號處理器：實(shí)現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。
6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。
8、測量軟件：基于windows操作系統(tǒng)的用戶界面，強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。

審核編輯 黃昊宇