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硅光芯片的無源封裝技術(shù)

光峰科技 ? 來源:光通信女人 ? 作者:匡國華 ? 2022-09-01 10:44 ? 次閱讀
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昨天在朋友圈看到一個(gè)圖,并借用2017年IBM的一個(gè)硅光耦合的圖來解釋“無源封裝”技術(shù)

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我再寫一下什么叫無源封裝,或者叫無源耦合。在合集2020第76頁有過一些簡單的描述。

在我匯總的一個(gè)硅光行業(yè)報(bào)告中,有較為詳細(xì)的分類解析。

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我自己來恢復(fù)一下這個(gè)圖,這個(gè)圖的含義包括了電學(xué)、光學(xué)和熱學(xué)

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電學(xué):硅光芯片和兩個(gè)淺藍(lán)色的模擬電芯片的電信號(hào)連接內(nèi)容,需要3D堆疊封裝,與高頻信號(hào)損耗有關(guān)。

光學(xué):光纖陣列寬度,耦合容差,以及硅波導(dǎo)的SSC模斑轉(zhuǎn)換,IBM在2017年版本的基礎(chǔ)上2020年做了優(yōu)化,改為倏逝波耦合,結(jié)構(gòu)寫在硅光行業(yè)報(bào)告的第187-188頁。

熱學(xué):對(duì)接耦合需要考慮Z軸的一致性與損耗。

在硅光芯片上刻蝕V型槽,能起到三維限位的作用,V型槽的寬度間距和光纖間距一致,產(chǎn)業(yè)鏈大約分為兩大類,一大類是250μm,另一大類是減包層后的特殊間距,約在160μm左右。

優(yōu)化后的倏逝波耦合,要有一段扇入扇出,硅波導(dǎo)間距不用V型槽,而改為50微米間隔,用于降低Z軸翹曲、對(duì)準(zhǔn)精度、耦合損耗等幾個(gè)方面的影響。

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只看一個(gè)光纖,通過V型槽對(duì)準(zhǔn)硅波導(dǎo)的SSC轉(zhuǎn)換,精度很高。

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如果是陣列,就比較麻煩。

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早期,V型槽是玻璃基板刻蝕,與硅波導(dǎo)做耦合。畢竟是兩個(gè)器件,XYZ以及傾斜度,對(duì)于整體的耦合損耗控制比較難。
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用“無源”耦合方式,行業(yè)報(bào)告的第194-195頁,可以通過邊沿兩側(cè)的波導(dǎo),在硅光芯片不通電的情況下,可進(jìn)行前期對(duì)準(zhǔn)。通過兩邊的光纖,一個(gè)外部耦合光源進(jìn)入,結(jié)合硅的環(huán)波導(dǎo),繼而從另一側(cè)光纖輸出,在耦合設(shè)備處放一個(gè)探測(cè)器,通過探測(cè)器的電流峰值狀態(tài),就能知道耦合效率的最高點(diǎn)。


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如果考慮到多個(gè)光纖的耦合損耗分布,上述的無源耦合并不能解決損耗一致性的問題。


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我們理想的光路對(duì)接是下圖這樣的,4個(gè)/8個(gè)/16個(gè)/32個(gè),每個(gè)間距250微米,總計(jì)好幾個(gè)毫米的狀態(tài)下,他們的波導(dǎo)高度都一致。


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但是現(xiàn)實(shí)可能做不到,比如硅光芯片是需要電信號(hào)引入引出的,那么焊接時(shí)的局部高熱,會(huì)引起芯片的翹曲,雖然宏觀上產(chǎn)生的Z軸高度差異很小,幾個(gè)毫米長,只有千分之一的高度變化,幾個(gè)微米而已。要知道咱們單模光纖的波導(dǎo)直徑也是幾個(gè)微米,Z軸翹度會(huì)導(dǎo)致很大的損耗不均勻。


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這個(gè)時(shí)候面臨的困境,即使是“無源”耦合,也會(huì)導(dǎo)致部分通道耦合損耗極大的隱患。

解決方案有幾種,第一種在硅基板上刻蝕V型槽,可緩解分立結(jié)構(gòu)的翹曲不一致,第二種在對(duì)接兩側(cè)采用準(zhǔn)直透鏡,擴(kuò)大尺寸冗余度,第三種是采用對(duì)稱透鏡將XY平面耦合,轉(zhuǎn)換為Z向?qū)?zhǔn),第四種將對(duì)接耦合改為倏逝波耦合,不再依賴Z軸高度的亞微米精度的一致性。

第一種方案是直接在硅光芯片上刻蝕V型槽,對(duì)于Z軸翹曲的容忍性,比分立器件好很多。


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審核編輯:劉清

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