羅德與施瓦茨(以下簡稱“R&S”公司)為在片器件的完整射頻性能表征提供測試解決方案，該方案結合了R&S強大的ZNA矢量網絡分析儀和FormFactor先進的工程探針臺系統。半導體制造商可以在產品的開發、認證和生產階段執行可靠且可重復的在片器件特性測試。整個在片測量工作由ZNA矢量網絡分析儀與FormFactor SUMMIT200探針臺系統一起完成。

5G 射頻前端設計師需要確保適當的器件輸出功率和射頻帶寬，同時兼顧優化器件效率。設計流程中的一個重要階段是驗證射頻設計，盡早獲得相關設計反饋并評估DUT在晶圓級的功能和性能。在晶圓環境對 DUT特性進行測試所需的測量系統包括矢量網絡分析儀(VNA)、探針臺、RF探針、電纜或適配器、專用校準方法以及用于特定DUT或相關的校準片等。

為了滿足這些重要的測量要求，R&S推出ZNA高端矢量網絡分析儀，以及頻率在67 GHz以上的擴頻模塊。分析儀可表征同軸和波導級的所有射頻特性參數。FormFactor通過手動、半自動和全自動探針臺系統解決晶圓接觸問題，系統包括熱控制、高頻探針、探針定位器和校準工具等。FormFactor WinCal XE校準軟件支持整個測試系統的校準，包括對ZNA的校準。

對整套測試系統進行完全校準后，用戶可以使用ZNA的所有測試功能。通用S參數測試可以表征濾波器和有源器件的特性;失真、增益和交調測試可以驗證功率放大器的特性。該套聯合測試系統還可對混頻器工作帶寬內的變頻相位進行測量。經過完全校準的測試系統允許用戶直接從VNA獲得所有測試結果，無需進行后處理，因為校準數據已經直接應用于VNA之中。

R&S的擴頻模塊擴展至亞太赫茲頻率，例如D波段，它是目前6G研究的重點頻段。擴頻模塊集成到探針臺中，以確保最短的連接并實現理想的動態范圍，同時避免因電纜連接到探針尖部而造成的額外損耗。

羅德與施瓦茨是測試與測量、系統與方案、網絡與網絡安全領域的知名供應商。公司成立已超過85年，總部設在德國慕尼黑，在全球70多個國家設有子公司。作為一家獨立的科技集團，羅德與施瓦茨創新性的產品和解決方案為全球工業及政府客戶提供了一個更安全與互聯的世界。

審核編輯：湯梓紅