近年來，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化需求迫切，加快發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以及提升產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化比重已上升為國家戰(zhàn)略。

在此情況下，跨界“造芯”的趨勢愈發(fā)明顯，大批上市企業(yè)向半導(dǎo)體行業(yè)轉(zhuǎn)型，而并購無疑是非半導(dǎo)體公司快速切入芯片市場的有效捷徑。

在目前眾多向半導(dǎo)體行業(yè)轉(zhuǎn)型的上市公司中，萬業(yè)企業(yè)顯得尤為突出。2017年公司出資10億元作為“上海半導(dǎo)體裝備材料產(chǎn)業(yè)投資基金”的主要LP之一，2018年100%并購國內(nèi)領(lǐng)先的集成電路設(shè)備離子注入機(jī)供應(yīng)商凱世通，2020年收購全球領(lǐng)先的氣體輸送系統(tǒng)領(lǐng)域零組件及流量控制解決方案供應(yīng)商Compart Systems，并通過“外延并購+產(chǎn)業(yè)整合”的方式，持續(xù)扎實(shí)推動公司快速向集成電路產(chǎn)業(yè)裝備和材料領(lǐng)域的轉(zhuǎn)型，成為A股公司轉(zhuǎn)型半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)桿。

萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通獲超億元訂單

近年中美貿(mào)易摩擦將半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)推向萬眾矚目的位置。離子注入機(jī)是芯片制造的關(guān)鍵裝備，滿足先進(jìn)制程需求的高端離子注入裝備長期被應(yīng)用材料（Applied Materials）、亞舍立（Axcelis）等美國龍頭所壟斷。

一鳴驚人的技術(shù)領(lǐng)先者與半導(dǎo)體高端裝備提供者

凱世通自2018年被萬業(yè)企業(yè)收購后業(yè)務(wù)全面加速集成電路設(shè)備開發(fā)，在短短的兩年時(shí)間內(nèi)，成為超越7nm技術(shù)領(lǐng)先者，在業(yè)內(nèi)可謂是“一鳴驚人”。

據(jù)了解，凱世通擁有超越7nm技術(shù)的集成電路芯片離子注入機(jī)的原創(chuàng)設(shè)計(jì)與開發(fā)的技術(shù)及產(chǎn)品，并已經(jīng)進(jìn)入了國際市場，這標(biāo)志著凱世通在先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)的高端離子注入機(jī)技術(shù)方面的領(lǐng)先地位。

凱世通的技術(shù)和產(chǎn)品同樣獲得了國內(nèi)客戶的認(rèn)可。2020年凱世通集成電路離子注入機(jī)進(jìn)入國內(nèi)12英寸晶圓廠產(chǎn)線驗(yàn)證，同時(shí)簽署了3臺12英寸集成電路設(shè)備訂單，其中包括低能大束流離子注入機(jī)與高能離子注入機(jī)，總金額超過1億元人民幣。目前，凱世通已成為國內(nèi)唯一全領(lǐng)域離子注入機(jī)供應(yīng)商。

一鳴驚人背后的法寶

相關(guān)人士表示，凱世通能在被收購后短短2年內(nèi)就成為超越7納米技術(shù)領(lǐng)先者及高端裝備提供者，這主要依靠三大法寶：有定力的專業(yè)化團(tuán)隊(duì)、尊重知識產(chǎn)權(quán)做原創(chuàng)設(shè)計(jì)、通用平臺與模塊化設(shè)計(jì)。

法寶一：有定力的專業(yè)化團(tuán)隊(duì)

凱世通成立于2009年，公司由陳炯博士為首的五位世界知名離子注入設(shè)備專家所創(chuàng)立。凱世通創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)來主要自于Axcelis、Varian、AIBT等知名離子注入機(jī)公司，深耕離子注入機(jī)30年，在業(yè)界工藝技術(shù)更新?lián)Q代之際率先開發(fā)過多款暢銷離子注入機(jī)，主要創(chuàng)新點(diǎn)已成為了行業(yè)標(biāo)配。陳炯博士于1999年在硅谷創(chuàng)立AIBT公司，成功開發(fā)兩代低能大束流離子注入機(jī)。2009年，陳炯博士在上海張江創(chuàng)立凱世通，開始打造技術(shù)領(lǐng)先的國產(chǎn)高端裝備。

法寶二：尊重知識產(chǎn)權(quán)做原創(chuàng)設(shè)計(jì)，不做逆向工程

尊重知識產(chǎn)權(quán)，不做逆向工程，是凱世通公司一直秉承的經(jīng)營哲學(xué)與價(jià)值觀，唯有如此才能不受到別人的霸凌，走出屬于中國集成電路的創(chuàng)新發(fā)展之路。凱世通遵循在每一款設(shè)備開發(fā)之初都會進(jìn)行詳細(xì)的知識產(chǎn)權(quán)盡調(diào)，從設(shè)計(jì)上規(guī)避競爭對手專利，同時(shí)布局關(guān)鍵專利自建立保護(hù)壁壘。

知識產(chǎn)權(quán)是半導(dǎo)體設(shè)備最大的門檻之一。半導(dǎo)體設(shè)備蘊(yùn)含著無數(shù)復(fù)雜設(shè)計(jì)、產(chǎn)業(yè)鏈合作關(guān)系復(fù)雜，知識產(chǎn)權(quán)往往既包含設(shè)計(jì)也包括使用方法。客戶若采用逆向工程設(shè)備制造的芯片會侵犯他人專利，商業(yè)利益受到極大損害。

法寶三：采用通用平臺和模塊化設(shè)計(jì)，使產(chǎn)品快速穩(wěn)定

通用平臺指不同的離子注入機(jī)型共享相同的注入平臺硬件和軟件控制系統(tǒng)，模塊化設(shè)計(jì)允許對離子源、質(zhì)量篩選器、加速器、減速單元等核心模塊進(jìn)行不同的組合。硬件是半導(dǎo)體設(shè)備的基礎(chǔ)，設(shè)備及工藝控制是半導(dǎo)體設(shè)備的靈魂。凱世通的通用平臺凝結(jié)了團(tuán)隊(duì)30年來花費(fèi)上億美元、從每一代半導(dǎo)體芯片技術(shù)迭代的研發(fā)與生產(chǎn)實(shí)踐中積累的結(jié)晶，并結(jié)合當(dāng)下新需求加以改進(jìn)，才能使產(chǎn)品在客戶端快速穩(wěn)定。

對市場需求的敏銳性，并憑借自身的高度專業(yè)，使得凱世通快速獲得客戶訂單。據(jù)行業(yè)人士透露，目前凱世通已經(jīng)實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機(jī)的全系列產(chǎn)品覆蓋，國內(nèi)芯片制造廠對凱世通低能大束流離子注入機(jī)等各項(xiàng)商用化指標(biāo)非常認(rèn)可，是目前首家進(jìn)入主流制程的國產(chǎn)化大束流離子注入機(jī)公司。這既印證了凱世通設(shè)備的產(chǎn)品競爭力及核心技術(shù)具備全球頂尖的實(shí)力，也增強(qiáng)了公司在集成電路裝備領(lǐng)域核心競爭力，同時(shí)進(jìn)一步豐富擴(kuò)大凱世通產(chǎn)品的覆蓋范圍和供貨能力，從而更迅速地向全球芯片制造工廠提供產(chǎn)品。同時(shí)凱世通擁有原創(chuàng)超越7nm先進(jìn)工藝的技術(shù)能力，將為芯片制造向更高工藝制程發(fā)展提供設(shè)備支持。

隨著凱世通自主研發(fā)的多個(gè)型號集成電路離子注入機(jī)設(shè)備獲得商用推進(jìn)，萬業(yè)企業(yè)的投資價(jià)值和潛力進(jìn)一步凸顯，業(yè)務(wù)潛力有望進(jìn)一步釋放。

收購Compart Systems，填補(bǔ)半導(dǎo)體本土供應(yīng)鏈空白

當(dāng)然，萬業(yè)企業(yè)的潛力不限于此，外延式發(fā)展戰(zhàn)略也是其重要的工作目標(biāo)。

自2018年起，萬業(yè)企業(yè)先后通過上海半導(dǎo)體裝備材料基金投資華卓精科、上海精測、上海御渡等多家產(chǎn)業(yè)內(nèi)優(yōu)質(zhì)半導(dǎo)體企業(yè)。2020年10月，萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通入股芯鏈融創(chuàng)，領(lǐng)投北方創(chuàng)新中心助力產(chǎn)業(yè)生態(tài)完善。另外，萬業(yè)企業(yè)還對安徽富樂德科技發(fā)展有限公司進(jìn)行了戰(zhàn)略投資，從而布局集成電路洗凈設(shè)備領(lǐng)域。

2020年12月22日，萬業(yè)企業(yè)領(lǐng)頭境內(nèi)外財(cái)團(tuán)完成全資收購全球領(lǐng)先的氣體輸送系統(tǒng)領(lǐng)域零組件及流量控制解決方案供應(yīng)商Compart Systems Pte. Ltd.（以下簡稱“Compart Systems”）。此次收購交易基準(zhǔn)價(jià)格為3.98億美元，為近年來該領(lǐng)域最大規(guī)模的中資企業(yè)跨境并購交易。其中萬業(yè)企業(yè)投資6億人民幣，擁有Compart Systems 33.31%股權(quán)。

Compart Systems總部位于新加坡，在中國深圳和馬來西亞庫林分別設(shè)立工廠，全球擁有約1400名員工，是半導(dǎo)體行業(yè)氣體輸送系統(tǒng)領(lǐng)域全球領(lǐng)先的零組件制造商，可提供高價(jià)值的氣體輸送零部件、組件、密封件、氣棒總成、質(zhì)量流量控制器（MFC）等。

據(jù)了解，由于化學(xué)氣體產(chǎn)品的特殊性，半導(dǎo)體工藝中氧化/擴(kuò)散、蝕刻和沉積工藝需要用到精確的氣體輸送系統(tǒng)，以確保工藝純度和提高安全性。Compart Systems是目前全球少數(shù)能夠?yàn)榘雽?dǎo)體客戶提供氣體流量控制器（MFC）組裝的公司。

同時(shí)，Compart Systems也可為半導(dǎo)體、工業(yè)、航空航天、石油天然氣領(lǐng)域內(nèi)客戶提供包括高精度金屬加工部件，質(zhì)量流量控制器、控制閥組件等產(chǎn)品，客戶群體覆蓋全球知名設(shè)備制造商和領(lǐng)先的工業(yè)企業(yè)，包括Ichor、UCT、Applied Materials、Emerson Electric、Pivotal、Entegris等氣體傳輸系統(tǒng)和半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)備廠商，是主要半導(dǎo)體設(shè)備制造商和工業(yè)集團(tuán)的長期合作伙伴。

據(jù)相關(guān)報(bào)告顯示，目前中國本土設(shè)備由平均數(shù)千種零組件構(gòu)成，平均國產(chǎn)化率為10%-30%，核心關(guān)鍵零組件幾乎為零。從類別來看，高端零組件主要由美日歐企業(yè)占據(jù)，而中低端零組件主要由韓國及中國臺灣提供，產(chǎn)業(yè)發(fā)展極不平衡。

萬業(yè)企業(yè)收購Compart Systems將有助于提升集成電路設(shè)備所需的氣體輸送系統(tǒng)及高精度流量控制等領(lǐng)域核心組件與部件的國產(chǎn)化率，填補(bǔ)本土相關(guān)供應(yīng)鏈空白領(lǐng)域。

萬業(yè)企業(yè)表示，公司將借助本次交易抓住產(chǎn)業(yè)發(fā)展的歷史機(jī)遇，通過自主研發(fā)與外延式并購雙輪驅(qū)動，延伸布局高端裝備產(chǎn)業(yè)鏈，增厚對集成電路裝備行業(yè)覆蓋深度和廣度，進(jìn)一步深化公司戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型。

從萬業(yè)企業(yè)的產(chǎn)業(yè)布局來看，專注集成電路產(chǎn)業(yè)裝備和材料領(lǐng)域，在最關(guān)鍵、最核心的技術(shù)領(lǐng)域填補(bǔ)國內(nèi)空白，加速國產(chǎn)化布局是其轉(zhuǎn)型升級的重點(diǎn)。

目前，萬業(yè)企業(yè)已成長為集成電路裝備領(lǐng)域的平臺型公司，同時(shí)擁有國際和國內(nèi)豐富的產(chǎn)業(yè)資源，無論是在集成電路設(shè)備商業(yè)化突破，還是開展外延式并購均擁有良好的布局，為公司集成電路業(yè)務(wù)多元化發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

可以預(yù)見的是，出于對供應(yīng)鏈的安全考量，國內(nèi)晶圓廠、設(shè)備廠商對國產(chǎn)設(shè)備、零部件的采購意愿大幅增強(qiáng)。伴隨著國內(nèi)晶圓廠大幅擴(kuò)產(chǎn)，國內(nèi)集成電路設(shè)備需求將持續(xù)增長，萬業(yè)企業(yè)旗下的集成電路業(yè)務(wù)有望受益于新一輪晶圓制造投資，獲得更具成長性的市場發(fā)展空間。

原文標(biāo)題：萬業(yè)企業(yè)獲大額設(shè)備訂單加持，收購Compart填補(bǔ)半導(dǎo)體本土供應(yīng)鏈空白

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